アライメントステーション

露光前の全ウェハでグリッド歪みを高速計測し、高精度な重ね補正を実現。

半導体露光装置には、3つの技術が必要とされています。第1は「投影レンズの解像度」、第2は「重ね合わせ精度」、第3は「スループット」です。「スループット」とは、1時間あたり何枚のシリコンウェハを露光できるかという生産性を表しています。アライメントステーションは露光前の全てのウェハに対して高速かつ高精度にグリッド歪みを計測。補正値を半導体露光装置に伝える(フィードフォワードする)ことで、重ね合わせ精度を高め、スループットを向上させます。

露光前の全ウェハでグリッド計測を実現

露光前の全てのウェハに対して、グリッド歪みの絶対値を高速かつ高精度に計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、今までは不可能だったウェハごと、ショットごとの高精度な重ね合わせ補正を可能にしています。

拡張・進化が可能なプラットフォーム

グリッド計測に限らず、さまざまなプロセスエラーの計測と補正に寄与するハードウェアやソフトウェアの追加・拡張が可能です。ニコン製のソフトウェアに限らず、サードパーティによるアプリケーション・ソフトウェアも利用できます。

優れた汎用性

ニコンの半導体露光装置であれば、液浸スキャナーだけでなく、ドライスキャナーとの組み合わせも可能です。Litho Boosterの計測結果と補正値をフィードフォワードすることで、既存装置を有効に活用することができます。