Highlight

半導体露光装置のリユースで、
廃棄物を削減

製品・材料を再利用する。新たに投じる資源をできるだけ減らす。
そうした「資源循環型社会」に向けた活動をニコンは進めています。
スマートフォン、家電、自動車など、さまざまな製品に欠かせない半導体の進化を支える
半導体露光装置におけるリユース、リデュースもその一つです。


「使って捨てる」から「めぐらせる」へ

たくさん資源を消費する使い捨ての社会から、製品・材料を再利用することで、できるだけ新たな資源を使わず廃棄物も出さない社会へ。この社会変革は、いまの企業に課せられた使命です。ニコンはそんな「資源循環型社会の実現」を環境長期ビジョンの一つに位置づけ、活動を進めています。

大切なのは「3R」の考え方。製品や材料を再利用する「リユース」、製造や販売で工夫して廃棄物の量を減らす「リデュース」、そして廃棄物を資源に再生する「リサイクル」。ニコンはこれらを積極的に進めています。

半導体露光装置を再販、レンズ再生も

半導体露光装置におけるリユース・リデュースは、ニコンが2000年より行っている活動です。

半導体を製造するのに欠かせない半導体露光装置。ニコンは、お客さまが使わなくなったニコン製の露光装置を買い取り、内部をリフレッシュして再販売するリユース活動をいちはやく事業化しました。 2018年3月までに371台を再販売し、約3600トンの廃棄削減を実現。半導体製品の進歩にともない露光装置が大型化しているため、リユースによる廃棄物削減の効果は大きくなっています。

平均重量9.3トン×387台
廃棄物削減量:約3,600トン

※半導体露光装置371台と投影レンズのみの再生事業16台の合計台数

露光装置に使う投影レンズにおけるリユースやリデュースも行っています。露光装置は20年以上フル稼働することもあり、紫外線などの光源が投影レンズを徐々に変性させていきます。 そこで、寿命となった部品を入れかえてレンズを再生。最新の仕様を満たしたレンズに置き換えられることで、より長く使うことができるようになり、廃棄物削減につながるだけでなく、より高品質な製品を生産することができるようになります。

複数台の装置から1台、レンズのみ交換、
ニコンの工夫

リユース・リデュースの取り組みには、ニコンの特長的な工夫がさまざまあります。

露光装置は、ガラス部材から機械、電気部材、露光光源、空調機まで、いくつものユニットでなりたっています。その一部ユニットだけが劣化して、装置が動かなくなることも。そこで、使用しなくなった露光装置を買い取り、複数の装置からまだ使えるユニットを集め、1台に作りなおす取り組みをしています。余ったユニットについても、部品を取り出し、交換用に役立てます。

また、お客さまの古い露光装置の投影レンズを交換し、長く使い続けられるように再生する取り組みもしています。 この際、従来は、装置全体を生産工場まで運びこまなければなりませんでしたが、投影レンズのみお客さまのもとに輸送し、その場で交換するシンプルな仕組みにしました。輸送にかかる燃料を減らすことができ、CO2排出量削減にも繋がっています。

こうした取り組みを、ニコンと、露光装置の製造に携わるあらゆるグループ会社が、一丸となって進めています。


Outlook

資源循環型社会の実現へ、取り組みつづける

ニコンは、半導体露光装置におけるリユース・リデュースのみならず、あらゆる製品で資源循環をめざしています。開発・設計から製造・販売までのすべての工程で、省資源化や廃棄物削減に取り組んでいます。これからもグループ一丸となって、資源循環型社会の実現に貢献していきます。

関連するSDGs

12 つくる責任つかう責任

持続可能な開発目標 (SDGs: Sustainable Development Goals)

国際社会が持続可能な発展のために2030年までに達成すべき目標で、国連総会が2015年に採択した。貧困、飢餓、教育、気候変動に関してなど、合計17の目標からなる。