半導体・エレクトロニクス

FPD露光装置

大型TV向け・高精細スマホ向けなど製造用

半導体露光装置

最先端プロセッサ・メモリーなど製造用

MEMSステッパー

MEMS・LEDなど製造用

レーザ光学関連機器

微細加工装置・マーキング装置・鏡筒など

光加工機

金属3Dプリンターの要素から、マーキング、接合、さらには研磨まで

アライメントステーション「Litho Booster」

露光精度を大幅に向上させる高速、高精度のウェハ計測を実現

測定機（マスク寸法・両面座標）

フォトマスク寸法・ウェハ両面座標の測定向け

測定機

精密部品の寸法・形状の測定

CNC画像測定システム

精密部品の寸法・形状を自動測定

光干渉顕微鏡システム

非接触で表面トポグラフィ評価

三次元測定機

非接触による高精度三次元計測

X線 / CT検査装置

内部および外部を非破壊で検査・測定

工業用顕微鏡

高い光学性能による広範な観察

装置組込用顕微鏡

生産装置に組込み、モニター観察

半導体検査装置・ウェハローダ

半導体ウェハの自動マクロ検査・外観検査

デジタル測長機「デジマイクロ」

機器や部品の厚み・段差を0.01μm単位で表示

産業用レンズ

高解像度の大型ラインセンサカメラに対応

産業用レンズ（カスタムメイド）

お客様の要望に沿って製造

アブソリュートエンコーダ

回転変位を絶対値で検出するセンサ

特注光学部品

各種特注機器や特注光学部品など

分光イメージングシステム

肉眼では見えない画像を疑似カラー化

193nm固体レーザー

ArFエキシマと同一波長の全固体深紫外光源

一般光学ガラス

透明度が高く均質性に優れた光学ガラス

光学素材

石英ガラス、蛍石などの光学部品、計測サービスも提供

CAEソリューション

アルゴリズム開発とシミュレーション