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半導体・エレクトロニクス

半導体や高精細パネルの露光装置から、各種電子部品の測定機器まで。さらに、光学素材や開発支援ソリューションなど。

デバイス製造
FPD露光装置
FPD露光装置

大型TV向け・高精細スマホ向けなど製造用

デバイス製造
半導体露光装置
半導体露光装置

最先端プロセッサ・メモリーなど製造用

デバイス製造
MEMSステッパー
MEMSステッパー

MEMS・LEDなど製造用

デバイス製造
レーザ光学関連機器
レーザ光学関連機器

微細加工装置・マーキング装置・鏡筒など

金属加工
光加工機
光加工機

金属3Dプリンターの要素から、マーキング、接合、さらには研磨まで

測定 / 検査 / 分析
アライメントステーション「Litho Booster」
アライメントステーション「Litho Booster」

露光精度を大幅に向上させる高速、高精度のウェハ計測を実現

測定 / 検査 / 分析
測定機(マスク寸法・両面座標)
測定機(マスク寸法・両面座標)

フォトマスク寸法・ウェハ両面座標の測定向け

測定 / 検査 / 分析
測定機
測定機

精密部品の寸法・形状の測定

測定 / 検査 / 分析
CNC画像測定システム
CNC画像測定システム

精密部品の寸法・形状を自動測定

測定 / 検査 / 分析
光干渉顕微鏡システム
光干渉顕微鏡システム

非接触で表面トポグラフィ評価

測定 / 検査 / 分析
三次元測定機
三次元測定機

非接触による高精度三次元計測

測定 / 検査 / 分析
X線 / CT検査装置
X線 / CT検査装置

内部および外部を非破壊で検査・測定

測定 / 検査 / 分析
工業顕微鏡
工業用顕微鏡

高い光学性能による広範な観察

測定 / 検査 / 分析
装置組込用顕微鏡
装置組込用顕微鏡

生産装置に組込み、モニター観察

測定 / 検査 / 分析
半導体検査装置・ウェハローダ
半導体検査装置・ウェハローダ

半導体ウェハの自動マクロ検査・外観検査

測定 / 検査 / 分析
デジタル測長機「デジマイクロ」
デジタル測長機「デジマイクロ」

機器や部品の厚み・段差を0.01μm単位で表示

パーツ・ユニット
産業用レンズ
産業用レンズ

高解像度の大型ラインセンサカメラに対応

パーツ・ユニット
産業用レンズ(カスタムメイド)
産業用レンズ(カスタムメイド)

お客様の要望に沿って製造

パーツ・ユニット
アブソリュートエンコーダ
アブソリュートエンコーダ

回転変位を絶対値で検出するセンサ

パーツ・ユニット
特注光学部品
特注光学部品

各種特注機器や特注光学部品など

パーツ・ユニット
分光イメージングシステム
分光イメージングシステム

肉眼では見えない画像を疑似カラー化

パーツ・ユニット
193nm固体レーザー
193nm固体レーザー

ArFエキシマと同一波長の全固体深紫外光源

パーツ・ユニット
一般光学ガラス
一般光学ガラス

透明度が高く均質性に優れた光学ガラス

パーツ・ユニット
光学素材
光学素材

石英ガラス、蛍石などの光学部品、計測サービスも提供

研究・開発支援
CAEソリューション
CAEソリューション

アルゴリズム開発とシミュレーション

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