半導体・エレクトロニクス

FPD露光装置

大型TV向け・高精細スマホ向けなど製造用

半導体露光装置

最先端プロセッサ・メモリーなど製造用

MEMSステッパー

MEMS・LEDなど製造用

光加工機

金属3Dプリンターの要素から、マーキング、接合まで

アライメントステーション「Litho Booster」

露光精度を大幅に向上させる高速、高精度のウェハ計測を実現

測定機（マスク寸法・両面座標）

フォトマスク寸法・ウェハ両面座標の測定向け

測定機

精密部品の寸法・形状の測定

CNC画像測定システム

精密部品の寸法・形状を自動測定

光干渉顕微鏡システム

非接触で表面トポグラフィ評価

三次元測定機

非接触による高精度三次元計測

X線検査装置

内部および外部を非破壊で検査・測定

工業用顕微鏡

高い光学性能による広範な観察

装置組込用顕微鏡

生産装置に組込み、モニター観察

半導体計測・検査装置

半導体ウェハの自動マクロ検査・外観検査、イメージセンサー検査用の照明

デジタル測長機「デジマイクロ」

機器や部品の厚み・段差を0.01μm単位で表示

産業用レンズ

高解像度の大型ラインセンサカメラに対応

産業用レンズ（カスタムメイド）

お客様の要望に沿って製造

アブソリュートエンコーダ

回転変位を絶対値で検出するセンサ

193nm固体レーザー

ArFエキシマと同一波長の全固体深紫外光源

一般光学ガラス

透明度が高く均質性に優れた光学ガラス

光学コンポーネント・光学素材

光源や照明系、投影レンズなどのコンポーネントおよび石英ガラス、蛍石などの光学部品