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半導体・エレクトロニクス

半導体や高精細パネルの露光装置から、各種電子部品の測定機器まで。さらに、光学素材や開発支援ソリューションなど。

デバイス製造
FPD露光装置
FPD露光装置

大型TV向け・高精細スマホ向けなど製造用

デバイス製造
半導体露光装置
半導体露光装置

最先端プロセッサ・メモリーなど製造用

デバイス製造
MEMSステッパー
MEMSステッパー

MEMS・LEDなど製造用

デバイス製造
レーザ光学関連機器
レーザ光学関連機器

微細加工装置・マーキング装置・鏡筒など

金属加工
光加工機
光加工機

金属3Dプリンターの要素から、マーキング、接合まで

測定 / 検査 / 分析
アライメントステーション「Litho Booster」
アライメントステーション「Litho Booster」

露光精度を大幅に向上させる高速、高精度のウェハ計測を実現

測定 / 検査 / 分析
測定機(マスク寸法・両面座標)
測定機(マスク寸法・両面座標)

フォトマスク寸法・ウェハ両面座標の測定向け

測定 / 検査 / 分析
測定機
測定機

精密部品の寸法・形状の測定

測定 / 検査 / 分析
CNC画像測定システム
CNC画像測定システム

精密部品の寸法・形状を自動測定

測定 / 検査 / 分析
光干渉顕微鏡システム
光干渉顕微鏡システム

非接触で表面トポグラフィ評価

測定 / 検査 / 分析
三次元測定機
三次元測定機

非接触による高精度三次元計測

測定 / 検査 / 分析
X線検査装置
X線検査装置

内部および外部を非破壊で検査・測定

測定 / 検査 / 分析
工業顕微鏡
工業用顕微鏡

高い光学性能による広範な観察

測定 / 検査 / 分析
装置組込用顕微鏡
装置組込用顕微鏡

生産装置に組込み、モニター観察

測定 / 検査 / 分析
半導体検査装置
半導体検査装置

半導体ウェハの自動マクロ検査・外観検査

測定 / 検査 / 分析
デジタル測長機「デジマイクロ」
デジタル測長機「デジマイクロ」

機器や部品の厚み・段差を0.01μm単位で表示

パーツ・ユニット
産業用レンズ
産業用レンズ

高解像度の大型ラインセンサカメラに対応

パーツ・ユニット
産業用レンズ(カスタムメイド)
産業用レンズ(カスタムメイド)

お客様の要望に沿って製造

パーツ・ユニット
アブソリュートエンコーダ
アブソリュートエンコーダ

回転変位を絶対値で検出するセンサ

パーツ・ユニット
特注光学部品
特注光学部品

各種特注機器や特注光学部品など

パーツ・ユニット
193nm固体レーザー
193nm固体レーザー

ArFエキシマと同一波長の全固体深紫外光源

パーツ・ユニット
一般光学ガラス
一般光学ガラス

透明度が高く均質性に優れた光学ガラス

パーツ・ユニット
光学コンポーネント・光学素材
光学コンポーネント・光学素材

光源や照明系、投影レンズなどのコンポーネントおよび石英ガラス、蛍石などの光学部品

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