ニコンNEXIV(ネクシブ)シリーズの中で最高精度の測定を実現

CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売

2018年8月21日PRESS RELEASE/報道資料

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株式会社ニコン(社長:牛田 一雄、東京都港区)の子会社、株式会社ニコンインステック(社長:木村 俊一、東京都港区)は、半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物を対象としたCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売します。

発売概要

商品名 CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」
価格(税別) 2,200万円~(価格は仕様により異なります)
発売時期 2018年10月1日予定

開発の背景

CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は、ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて、各種精密機器や電子部品などの寸法を自動で測定する装置です。取得した画像を解析し、エッジを高速で正確に検出することにより、複雑な形状の被検物も素早く測定することができます。

今回発売するCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」は、ご好評いただいている「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の基本性能を踏襲し、「NEXIVシリーズ」の中で最高精度の測定を実現したモデルです。厳密な品質管理が要求される各種測定用途に、幅広く対応いたします。

主な特長

1. 高精度・高速な測定

高精度リニアエンコーダと精密動作ステージにより、高い測定精度を発揮します。また、画像転送速度(フレームレート:30fps)が速く、光量調整時間も短いため、短時間での測定を可能にします。

2. 多様な被検物への対応

高性能TTLレーザーオートフォーカスにより、0.1mmレベルの透明サンプルの厚みも検出可能です。また、リング照明の角度調整機構により、複雑な形状をしたエッジの検出技術も向上。機械部品、モールド部品から高密度プリント基板、および半導体の300mmウェハまで、多種多様な測定ニーズに応えます。

3. 高い操作性と充実したソフトウェア

ティーチングファイル作成時の操作手順が少なく、「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能により、寸法測定を快適に行えます。また、「NEXIV VMZ-Rシリーズ」で高い評価をいただいている各種ソフトウェアに対応し、画像の合成・解析や検査成績書の作成など、用途に合わせた機能の追加が可能です。

主な仕様

ストローク(X x Y x Z) 300 x 300 x 150 mm
測定精度 EUX,MPE,EUY,MPE:0.6+2L/1000 μm
EUXY,MPE:0.9+3L/1000 μm
EUZ,MPE:0.9+L/150 μm
オートフォーカス TTLレーザーAF、イメージAF
照明 透過、垂直落射:白色LED
8分割リング照明:白色LED(照明入射角度:3段階)
カメラ 白黒1/3型CCD、カラー1/3型CCD
  • カラーCCDカメラはタイプ1、2、3のみ対応
光学ズームタイプ
(倍率・視野)
タイプ1:(0.5~7.5x・9.33x7.01~0.622x0.467 mm)
タイプ2:(1~15x・4.67x3.5~0.311x0.233 mm)
タイプ3:(2~30x・2.33x1.75~0.155x0.117 mm)
タイプ4:(4~60x・1.165x0.875~0.078x0.058 mm)
タイプTZ:(1~120x・4.67x3.5~0.039x0.029 mm)
被検物最大質量(重さ) 30 kg(精度保証値:10 kg)
装置寸法(W x D x H) 1000 x 1125 x 1750 mm
装置質量(重さ) 約500 kg
供給電源 AC100-240V±10%、50/60Hz
消費電流 5A-2.5A

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