高精細大型パネルの生産に最適な、高タクトタイム・高解像度の露光装置

ニコンFPD露光装置「FX-103S」「FX-103SH」を発売

2018年2月22日PRESS RELEASE/報道資料

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「FX-103S」

株式会社ニコン(社長:牛田 一雄、東京都港区)は、FPD露光装置の新製品「FX-103S」「FX-103SH」の2モデルを発売しました。「FX-103S」「FX-103SH」は第10.5世代のプレートサイズに対応し、4Kテレビや今後普及が期待される8Kテレビ、高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に最適な装置です。本製品は、2018年3月期3Qから販売しています。

開発の背景

中小型高精細パネルの生産に適した、第6世代プレートサイズ対応露光装置「FX-67S2」と、テレビ用パネルの生産に適した、第8世代プレートサイズ対応露光装置「FX-86SH2」の技術を融合し、高精細大型パネルの生産に最適な露光装置を開発しました。「FX-103S」は、生産性の向上に注目し、従来の第10世代プレートサイズ対応露光装置「FX-101S」に比べて高タクトタイムを達成しました。また、さらに高解像機能を有する「FX-103SH」も加え、お客様のニーズに合わせて装置をお選びいただけます。

主な特長

1. 高タクトタイム

従来機の「FX-101S」の露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスを刷新し、さらに高速かつ高精度な露光を実現しました。

2. 高解像度

「FX-103SH」は、高解像の第8世代プレートサイズ対応露光装置「FX-86SH2」で開発した独自の解像度向上技術を適用した照明系とマルチレンズシステムを、第10.5世代向けに新たに最適化しました。また、マスクたわみやプレート平面度などの誤差を最適に補正する新たなオートフォーカスシステムも搭載。2.2マイクロメートル(L/S)の高解像度を達成しながら、広い実用焦点深度も同時に確保しています。

3. 高精度アライメント

計測精度向上のため、従来機の「FX-101S」の位置計測システムを新たに設計し、±0.5マイクロメートルの高精度アライメントを実現しました。

4. 高スループット

スループットを大幅に向上させました。65インチパネルを生産対象とした場合、従来機の「FX-101S」に対して77パーセント増の毎時480枚を達成。また、75インチパネルにおいては、毎時322枚を達成しました。

主な性能

FX-103S FX-103SH
解像度(L/S) 3.0 μm (g+h+i線) 2.2 μm (g+h+i線)
投影倍率 1:1
アライメント精度 ≦±0.5 μm
プレートサイズ 3370 mm×2940 mm
タクトタイム 60秒/プレート
(条件:3370 mm×2940 mm、4スキャン、g+h+i線、30 mJ/cm2)

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