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vol.08

ステッパー製造風景

1982年、横浜製作所のステッパー専用工場が本格稼働しました。ステッパーは半導体産業興隆の主役として一躍脚光を浴び、その後の半導体産業の成長を牽引。パソコン、テレビ、自動車など、半導体が使われるさまざまな業界にも大きく貢献しました。また、そこで蓄積された技術や知見は、スマートフォンやタブレット型端末用ディスプレイの製造に使われるFPD露光装置にも応用。その後、ニコンの主要事業へと成長し、現在の超スマート社会の一翼を担っていくことになります。

※回路をステップ・アンド・リピート方式で焼き付ける縮小投影型露光装置。現在のスキャナー方式の半導体露光装置の前身。

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