精機事業

これからの超スマート社会実現のために

IoTやAIのさらなる高度化のカギを握る半導体や高精細パネル。
ニコンは、それらの回路を光で焼き付ける製造装置の開発・製造を通じて、超スマート社会の実現を支えています。

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造プロセスとFPD露光装置

FPD露光装置

FPDの基板となるガラスプレート表面に各画素を制御するための回路パターンを露光します。ニコン独自の技術であるマルチレンズ・システムを採用した大型パネル向け露光装置から、スマートデバイスなどの中小型パネル向け露光装置までを提供。マルチレンズ・システムに象徴される、たゆみない技術開発でFPD露光装置の高いシェアを獲得しています。

半導体の製造プロセスと半導体露光装置

半導体露光装置

半導体の基板であるウェハに、回路パターンを縮小して露光します。
半導体露光装置は半導体の製造工程の要を担う装置で、nm(ナノメートル:10億分の1m)単位の精度が求められ、「史上最も精密な機械」と言われています。

製品紹介

FPDスキャナー FX-103SH

独自の解像度向上技術による照明系とマルチレンズシステムを、第10.5世代向けに最適化した露光装置です。高精細大型パネルの生産に最適で、4K・8Kテレビや高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に貢献します。

FPDスキャナー FX-68S

第6世代プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応したFPD露光装置です。スキャナー方式により、生産性向上と高解像度(1.5μm)・髙い重ね合わせ精度を同時に実現しました。

ArF液浸スキャナー NSR-S631E

7ナノメートルプロセス量産用(マルチプルパターニング適応)に開発された、ストリームラインプラットフォーム採用のArF液浸スキャナーです。装置間重ね合わせ精度2.3ナノメートル以下でスループット毎時270枚以上(96 shots)という極めて高い精度と生産性を実現。最先端デバイス生産ラインの安定量産に貢献します。