産業用X線/CT検査システム

被検物を破壊することなく内部構造を精密に検査

複雑な内部構造を持つ被検物の測定や、内部欠陥検査などの非破壊検査を実現するのが、X線/CT検査システムです。ニコンのテクノロジーが被検物の精密な非破壊検査を可能にし、ものづくりの現場を支えています。

X線/CT検査システムは、被検物を透過したX線をイメージセンサーで受光し、2次元の透過画像を生成。また、被検物を少しずつ回転させて連続撮影し、撮影データをコンピュータで処理することで、3次元CT(Computed Tomography)画像も生成可能です。

こうした画像をもとに、さまざまな方法で被検物を検査できることから、電子部品やプラスチック成型品、鋳物など、さまざまな被検物の非破壊検査に利用され、高品質なものづくりに貢献しています。また、鉱物や化石の調査、考古学など、学術研究の分野においても活躍しています。

X線撮影の仕組み

世界初、450kVマイクロフォーカス源

X線検査装置は、熱電子をターゲットと呼ばれる金属にぶつけることで発生するX線を使います。

一般にX線の強度を上げると、厚みのある被検物を透過しますが、X線のスポットサイズが大きくなり鮮明に見えなくなってきます。そこで、ニコンは450kVという高管電圧でありながら、高精細な画像の取得が可能なマイクロフォーカス源の開発に成功。

従来では難しかった高密度な被検物の精密な非破壊検査を実現し、大型鋳物や単結晶合金タービンブレードといった産業用部品の検査に活用されています。

X線源の仕組み(概要)
タービンブレードのX線検査
エンジン鋳物のX線検査