CNC画像測定システム

電子部品などの寸法/形状を高精度に自動測定

CNCとはコンピュータ数値制御(Computer Numerical Control)の略で、CCDカメラで得た画像から被検物の寸法や形状を非接触で自動測定するのがCNC画像測定システムです。精度よく寸法/形状測定をするためには、被検物の端を正確に検出するとともに、端の座標を正しくとらえることが重要です。また、TTLレーザオートフォーカスにより、高さや断面形状の測定が出来ます。

ニコンのCNC画像測定システム「NEXIV」シリーズは、長年にわたり培ってきた高度な測定技術により、被検物のエッジを正確に検出した高精度な自動測定を実現。ファクトリーオートメーションに伴い強く求められる、計測検査工程における大量・迅速・精密な自動測定に貢献し、射出成型品、精密機械加工品、半導体、電子部品など、同じ品質が要求される大量生産の製造現場を支えています。

TTLレーザオートフォーカス

TTLレーザオートフォーカス(Through The Lens / Laser Auto Focus)とは、レンズを通してレーザ光を被検物に当て、その反射から距離測定を行うオートフォーカスシステムのことです。ニコンではTTLレーザオートフォーカスの新開発により、低倍率観察時でも段差のある狭部をシャープに検出し、微細な立体形状の測定を実現しました。また、測定ポイントの指定が困難な、反射率が低い透明体の被検物に対してもエッジ部をシャープにとらえることができ、「VMZ-R」シリーズでは、LCD保護膜など、0.1mmほどの透明体の厚み検出も可能としています。

TTLレーザオートフォーカスのしくみ