1.5マイクロメートルの高解像度を達成した第6世代プレートサイズ対応露光装置

ニコンFPD露光装置「FX-68S」を発売

2016年3月9日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン(社長:牛田 一雄、東京都港区)は、FPD露光装置の新製品「FX-68S」の販売を開始いたします。
「FX-68S」は、スマートフォンに代表される、最先端の高機能モバイル機器用、高精細有機ELパネル及び液晶パネル製造に最適な露光装置です。

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商品概要

商品名 FPD露光装置「FX-68S」
販売開始時期 2016年3月より

開発の背景

スマートフォン等の高機能モバイル機器用パネルは高精細化の進展に伴い、より高解像度・高精度の第6世代プレートサイズに対応した露光装置が求められています。
「FX-68S」は、スキャナー方式により、生産性向上と高解像度・高精度アライメントを同時に実現、第6世代大型プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応した露光装置です。

主な特長

1. 高解像度

従来のマルチレンズシステムを継承するとともに、高解像度化のためにi線の投影レンズを新規開発しました。さらに大型プレートに対してマルチレンズの特性を生かし、プレート面の傾斜とその変化に対して焦点面を最適に追従させる画期的な補正システムを開発搭載しました。
これらにより第6世代プレートで1.5マイクロメートル(L/S)の高解像度での量産を可能としました。

2. 高精度アライメント

位置計測の干渉計システムを新規設計し、計測精度と位置制御性能を上げることにより高精度アライメントを実現しました。

3. 高スループット

新規開発の投影レンズとステージにより、第6世代プレートで4スキャンを可能とし、高スループット(毎時78プレート)を実現しました。

主な性能

解像度(L/S)(波長) 1.5 μm(i線)
投影倍率 1:1
アライメント精度 ≤±0.35 μm
最大プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 46秒/プレート
(条件)
1,500 mm × 1,850 mm、
4スキャン、30mJ/cm2

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