産業用高性能レンズ「Nikon Rayfact 5.2倍直筒タイプ」「Nikon Rayfact 5.2倍落射タイプ」を発売

2015年12月1日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長:牛田一雄、東京都港区）の子会社、株式会社栃木ニコン（社長：塩釜吉晴、栃木県大田原市）は、画素サイズ5.2μmのラインセンサカメラ^※に適した産業用レンズ「Nikon Rayfact（ニコンレイファクト）5.2倍直筒タイプ」「Nikon Rayfact 5.2倍落射タイプ」の2機種を発売します。
なお、「国際画像機器展2015」（開催期間：2015年12月2日～4日、場所：パシフィコ横浜）に本製品を出展いたします。

今回発売する2機種は、分解能1μmクラスの検査へのニーズに応えるために開発した、産業用高性能レンズです。FPD製造工程での欠陥検査などにおいて、高解像ラインセンサカメラの性能を最大限に引き出します。

※光を受光する感光部が１列（リニア）に配置されたセンサを備え、検査対象全体を走査して撮影する検査用カメラ。

発売概要

商品名	「Nikon Rayfact 5.2倍直筒タイプ」「Nikon Rayfact 5.2倍落射タイプ」
価格	オープンプライス
発売時期	2016年1月下旬予定

主な特長

1. 画素サイズ5.2μmの高解像ラインセンサカメラ向けに光学系を最適化

画素サイズ5.2μmのラインセンサカメラを用いた検査向けに光学系を最適化しており、ラインセンサカメラの性能を最大限に引き出すことが可能です。
視野約12mmで高分解能を実現し、FPD製造工程での欠陥検査などにおいて、検査の高速化を実現します。

2. 優れた光学性能と均一な照度を実現

大型イメージサークルφ64mmとNA 0.275を実現するとともに、Rayfactレンズシリーズの中でもトップクラスの光学性能を実現。レンズ中心部から周辺部に至るまで解像力が均一な画像が得られます。
加えて、レンズ中心部から周辺部まで均一な照度を保っています。

主な仕様

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品名	Nikon Rayfact 5.2倍直筒タイプ	Nikon Rayfact 5.2倍落射タイプ
型式	OFM52275HN-TS	OFM52275HN-TP
基準倍率	-5.2x
NA	0.275
基準波長	546.07nm（e線）
使用波長域	510nm～590nm
イメージサークル	φ64mm
視野	φ12.3mm
物像間距離	612.1mm	624.0mm
ワーキングディスタンス	54.8mm
マウント	M72（P=0.75）
外形寸法^※1	φ119.5mm×554.7mm	φ119.5mm^※2×566.7mm
質量	約4.4kg	約5.9kg

※1突起部は含まず。
※2落射部は□119.5mm。