縮小投影露光装置

「ミニステッパー NES1W-ih06/i06, NES2W-ih06/i06」を受注開始

2014年12月1日PRESS RELEASE/報道資料

縮小投影露光装置「ミニステッパー NES2W-ih06」

株式会社ニコン(社長:牛田一雄、東京都港区)の子会社、株式会社ニコンエンジニアリング(社長:小貫哲治、神奈川県横浜市)は、LED、MEMS、パワー半導体等の量産に適した縮小投影露光装置「ミニステッパー NES1W-ih06/i06, NES2W-ih06/i06」の受注を開始いたします。これらの装置は、これまでご好評をいただいているミニステッパー NES1、NES2シリーズのコンセプト「小型・簡単・リーズナブル」を継承しつつ、露光波長i-h線に対応した新開発の投影レンズと照明光学系を搭載したものです。「ミニステッパー NES1W-ih06,NES2W-ih06」はi-h線2波長利用によって照度を大幅に向上させ量産性を最大限まで高めたものであり、「ミニステッパー NES1W-i06,NES2W-i06」はi線単波長に特化してi線プロセスに適合させています。
本商品は、12月3日から5日まで東京ビッグサイト(東京国際展示場)で開催される「SEMICON Japan 2014」にパネル展示する予定です。

発売概要

商品名 「ミニステッパー NES1W-ih06/i06」
価格 1億6,800万円~(税込1億8,144万円~)(標準仕様)
受注開始時期 2014年12月
商品名 「ミニステッパー NES2W-ih06/i06」
価格 1億9,800万円~(税込2億1,384万円~)(標準仕様)
受注開始時期 2014年12月

開発の背景

株式会社ニコンエンジニアリングは、2009年1月にミニステッパーNESシリーズを市場投入して以来、LED、MEMS、パワー半導体の量産に寄与し、ご好評をいただいております。そのような中で、さらなる生産性向上とi線対応のご要望をいただいており、このたび露光波長i-h線に対応した投影レンズと照明光学系を新開発いたしました。

主な特長

1. i-h線2波長ブロードバンドによる高照度化

i線からh線までのブロードな波長領域の光を取り込むことにより、照度を大幅に向上させています。これにより、高いドーズ量が必要なプロセスにおいて、生産性を大幅に向上させることができます。

2. i線レジストへの適合

MEMS等の量産で使用されるレジストには、i線領域に感度ピークを持つものがあり、新開発の投影レンズと照明光学系によって十分な解像性能を得ることができます。

3. NA拡大

新開発の投影レンズは、ニコンNSRシリーズのステッパーと同等の露光範囲22mm×22mmを確保しつつ、従来機種NES2-h06のNA 0.11に対して0.13へと拡大しています。
これにより、LED、MEMS、パワー半導体等の量産に必要な深い焦点深度と高解像度の両立を実現しています。

4. 安全認証対応

SEMIやCEマークなどの海外安全認証に標準対応しています。

5. 高精度な裏面アライメント機構(オプション)

通常の可視光アライメントに加え、赤外線による透過アライメント、およびウエハホルダに内蔵した裏面直視アライメントにより、高精度な裏面アライメントが可能です。

6. 多彩なオプション群

オートレチクルスライダ、デュアルエリアレチクル、照明系σ可変ユニット、TAIKO®ウエハ対応など、多彩なオプションをご用意しております。
注:TAIKOは株式会社ディスコの商品名です。

7. 世界最小レベルのフットプリント

150mmウエハ対応のNES1Wで約2.2m2、200mmウエハ対応のNES2Wは3.3m2と、世界最小レベルのフットプリントを継承しています。

主な仕様

  NES1W-ih06 NES1W-i06
解像度 2.5μm 2.0μm
投影レンズ縮小倍率 -1/1.8倍
NA(開口数) 0.13
露光範囲 22mm×22mm
露光波長 365-405nm 365nm
アライメント精度 0.3μm以下(lXl+3σ、エンバイロメンタルチャンバ使用時)
試料サイズ 直径50mm~直径150mm
処理能力 直径150mmにて100枚/時 直径150mmにて95枚/時
寸法(W×D×H)・質量 1,150×1,940×2,070mm / 1,750kg
  NES2W-ih06 NES2W-i06
解像度 2.5μm 2.0μm
投影レンズ縮小倍率 -1/1.8倍
NA(開口数) 0.13
露光範囲 22mm×22mm
露光波長 365-405nm 365nm
アライメント精度 0.35μm以下(lXl+3σ、エンバイロメンタルチャンバ使用時)
試料サイズ 直径150mm、直径200mm
処理能力 直径200mmにて62枚/時 直径200mmにて59枚/時
寸法(W×D×H)・質量 1,440×2,290×2,100mm / 2,150kg

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