高精細大型パネルの生産に最適な、高タクトタイム・高解像度の露光装置

ニコンFPD露光装置「FX-86S2」「FX-86SH2」を発売

2014年10月22日PRESS RELEASE/報道資料

FPD露光装置「FX-86SH2」

株式会社ニコン(社長:牛田一雄、東京都千代田区)は、FPD露光装置の新製品「FX-86S2」「FX-86SH2」の2モデルを販売開始いたします。「FX-86S2」「FX-86SH2」は、4Kテレビはもちろん、今後普及が見込まれる8Kテレビや、高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなど高精度を要求されるパネル製造に威力を発揮します。

(1) 発売概要

商品名 FPD露光装置「FX-86S2」「FX-86SH2」
販売開始時期 2014年10月より

(2) 新製品概要

高精細パネルの生産に適した、第6世代プレートサイズ対応露光装置「FX-67S」と、超大型パネルの生産に適した、第10世代プレートサイズ対応露光装置「FX-101S」の技術を融合し、高精細大型パネル生産に最適な露光装置を開発しました。「FX-86S2」は、生産性の向上に注目し、既存の第8世代装置に比べて高タクトタイムを達成しました。更に「FX-86SH2」では高解像機能も加え、よりお客様のニーズに合わせた装置が完成しました。

(3) FX-86S2/86SH2の主な特長と仕様

高タクトタイム

更なる高タクトタイムの実現のため、露光シーケンスを刷新。第10世代プレートサイズ対応露光装置「FX-101S」の制御技術を採用することで、従来よりも高速かつ高精度な露光を実現しました。

高解像度

FX-86SH2では、複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムの高解像度化のために、投影レンズの新たな調整機構を採用、さらにFX-67Sで実績のある独自の解像度向上技術を採用した照明系を搭載しました。また計測ポイントを最適化した新オートフォーカスシステムも搭載することで、2.2マイクロメートル(※L/S)の高解像度を達成しながら広い実用焦点深度も同時に確保しています。

高精度アライメント

干渉計による位置計測システムを新たに最適設計したことにより計測安定性が向上、±0.5マイクロメートルの高精度アライメントを実現しました。

高スループット

2,200 mm×2,500 mmプレートサイズの場合:
毎時587枚(46インチパネル) ※対FX-86S比18%向上
毎時378枚(55インチパネル) ※対FX-86S比14%向上

主な仕様

  FX-86S2 FX-86SH2
解像度(L/S) 3.0 μm(g+h+i線) 2.2 μm(g+h+i線)
投影倍率 1:1
アライメント精度 ≦±0.5 μm
最大プレートサイズ 2,200 mm×2,500 mm
タクトタイム 49秒/プレート
(条件)
2,200 mm×2,500 mm、4スキャン、g+h+i線、30mJ/cm2

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