大型部品を画像測定するCNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」、タッチプローブの装着が可能な「iNEXIV VMA-4540」を発売

2014年2月17日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン(社長:木村 眞琴、東京都千代田区)は、広視野で使いやすく、大型部品や高さのある部品を測定するCNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」「iNEXIV VMA-4540」を発売します。

「iNEXIV VMA-4540V」発売概要

商品名 CNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」
価格(税別) 7,166,750円~
(価格は仕様により異なります)
発売予定 2014年4月1日

「iNEXIV VMA-4540」発売概要

商品名 CNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540」
価格(税別) 7,236,750円~
(価格は仕様により異なります)
発売予定 2014年4月1日
「iNEXIV VMA-4540」
※タッチプローブ装着時

開発の背景

CNC画像測定システムは、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて、各種精密機器・電子部品等の寸法を自動測定する装置です。CCDカメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを正確に検出、データ処理をすることにより、複雑な形状の測定を可能にします。

今回発売するCNC画像測定システム「iNEXIV VMA-4540V」「iNEXIV VMA-4540」は、新たに「iNEXIVシリーズ」に加わる、優れたコストパフォーマンスを持つモデルです。2007年1月に発売し好評を得ている「iNEXIV VMA-2520」よりも大きな測定ストロークを実現しました。「iNEXIV VMA-4540V」は画像測定が可能、「iNEXIV VMA-4540」は画像測定に加え、オプションとしてタッチプローブの装着が可能です。

主な特長

1. 大きな測定ストローク

ストロークが大きいため、大型プリント基板や高さのある樹脂射出成型品の高速測定、小物部品を多数並べての自動測定により、検査コストの大幅な削減に貢献します。

2. 広視野、クリアな画像

最大13mmx10mmの広視野を確保し、被検物とステージの平行出しや、測定位置の確認が容易です。iNEXIVシリーズ専用に設計した、高い解像力(NA 0.11)のアポクロマート対物レンズにより、倍率誤差や色にじみの少ない非常にクリアな画像が得られます。
被検物の形状に応じて同軸落射照明、透過照明、8分割リング照明の選択や、光量・照射方向を最適化することにより、見にくいエッジもシャープに捉えることができます。

3. 高速・高精度な画像AF(オートフォーカス)

高速で繰り返し精度の高い画像AFにより、被検物表面や輪郭エッジへの合焦だけでなく、被検物上の基準面設定や、高さ・深さ測定が可能です。非接触測定のため、被検物を損傷・変形させる危険がありません。
オプションとしてレーザーAFを搭載できます。表面が平らな被検物を測定する場合、どのような倍率においても、焦点深度に関わりなく高い繰り返し精度を確保できます。

4. 複雑な立体形状測定(オプション)

「iNEXIV VMA-4540」にレニショー社製の「タッチトリガープローブTP20」または「TP200」(ともに別売)を搭載できます。これにより、画像測定だけではなく、見えない部分の寸法や角度の測定も可能です。
また、容易な操作で、画像測定と「タッチトリガープローブ」による測定を1つのティーチングファイルで完結させることができます。

主な仕様

  iNEXIV VMA-4540V/4540
ストローク(X×Y×Z) 450×400×200mm
最小表示単位 0.1μm
被検物最大質量 40kg(精度保証20kg以下)
最大許容指示誤差※1 EUX,MPE EUY,MPE:2+6L/1000μm(画像AF時)
EUXY,MPE:3+6L/1000μm(画像AF時)
EUZ,MPE:3+L/100μm(レーザーAFまたはタッチプローブ使用時)
カメラ カラーまたは白黒1/3型3CCD
プログレッシブスキャン
作動距離 73.5mm(レーザーAF使用時63mm)
倍率 光学倍率:0.35~3.5×
画面内倍率(WUXGA 1920×1200画素24型モニター使用時):12.6~126×
オートフォーカス 画像AF、レーザーAF(オプション)
照明 輪郭照明 白色LED透過照明
表面照明 白色LED垂直落射照明
斜光照明 8分割白色LEDリング照明
タッチトリガープローブ(オプション)※2 レニショーTP200/TP20
供給電源 100V-240V、50/60Hz
消費電流 5–2.5A(ホストコンピューターとその周辺機器を除く)
寸法(W×D×H)、質量 本体+測定台 1000×1340×1553mm、約500kg
コントローラー 145×400×390mm、約13kg

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