ニコン独自の光学技術から生まれた「位相フレネルレンズ」を採用

工業用顕微鏡「CFI60-2対物レンズシリーズ」を発売

2012年9月20日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン(社長:木村 眞琴、東京都千代田区)は、工業用顕微鏡CFI60対物レンズシリーズのさらなる色収差低減と長作動距離化※1を実現した「CFI60-2 対物レンズシリーズ」を開発し、2012年10月1日より順次発売を開始します。

CFI60-2 対物レンズ
「TU Plan EPI ELWDシリーズ」
  • ※1作動距離
    観察対象物に焦点を合わせたとき、対物レンズの先端から観察対象物までの距離を「作動距離」(WD:Working Distance)と呼びます。作動距離が長いと、対物レンズ切替時に観察対象物と対物レンズの接触を回避できるなど、さまざまな長所があります。

発売概要

商品名 工業用顕微鏡 CFI60-2対物レンズシリーズ
「位相フレネルレンズ※2」 採用の対物レンズ
  • 長作動距離対物レンズ TU Plan EPI/BD ELWD (明視野・明暗視野タイプ)
  • 超長作動距離対物レンズ T Plan EPI SLWD (明視野タイプ)
  • 長作動距離高級対物レンズ TU Plan Apo EPI/BD (明視野・明暗視野タイプ)
「標準タイプ」対物レンズ
  • TU Plan Fluor EPI/BD (明視野・明暗視野タイプ)
  • 極低倍率対物レンズ T Plan EPI (明視野タイプ)
  • 偏光用対物レンズ TU Plan Fluor EPI P (偏光用)
価格 42,000 円~352,800円(税抜、仕様により異なります)
発売予定日 2012年10月1日より順次発売

開発の背景

工業用顕微鏡は、半導体・フラットパネルディスプレイ・電子部品・素材/材料分野の観察/検査、研究・解析用途など多くの分野で活用されています。
これらの分野では、多種多様なサンプルがさまざまな観察方法の下で用いられており、高い光学性能と使いやすさが求められています。
ニコンは、これらの要求に応え、現行製品CFI60対物レンズシリーズで、これまで高い評価をいただいている「光学性能」と「長作動距離化」による使いやすさを、ニコン独自の光学技術から生まれた「位相フレネルレンズ」を採用することで、さらに進化させた「CFI60-2対物レンズシリーズ」を開発しました。

主な特長

工業用顕微鏡 CFI60-2対物レンズシリーズ

1. ニコン独自の「位相フレネルレンズ※2」の採用

ニコン独自の光学技術から生まれた「位相フレネルレンズ」を工業用顕微鏡対物レンズに採用することで、コントラストを低下させる色収差を、各クラスで高度に補正し、鮮明でクリアな像を実現。さらに長作動距離化により操作性の向上を実現しました。

2. 標準タイプ対物レンズシリーズの基本性能の向上

標準タイプの対物レンズ TU Plan Fluorシリーズ(明視野・明暗視野・微分干渉・偏光・蛍光用)については、10X、20Xの中倍率域の色収差性能を改良し、シリーズ全体の基本性能を向上しました。これにより従来シリーズの「高NA」と「長作動距離」を維持しつつ、さらに鮮明でクリアな像を実現しました。

3. 軽量化

50X・100X・150Xの高倍率対物レンズを、従来より30%前後軽量化しました。
これにより、他の倍率の対物レンズとの重量差を低減し、対物レンズ切替を容易にします。

4. 極低倍率対物レンズのコントラストを向上

極低倍率・広視野マクロ観察用T Plan EPI 1X、2.5X対物レンズは、対物レンズ に円偏光板及びデポラライザーを組み込み、極低倍率対物レンズ特有の低反射率サンプル時のフレアーを抑え、鮮明でクリアな像が観察できます。これにより、本対物レンズを装置へ組み込む際にコントラストの低下を招くといった従来の潜在的問題を解消します。

CFI60-2 対物レンズの主な仕様

用途 名称(種類) 倍率 開口数
NA
作動距離
WD(mm)
明視野 T Plan EPI
プラン
(セミアポクロマート)
1X 0.03 3.8
2.5X 0.075 6.5
TU Plan Fluor EPI
プランフルオール
(セミアポクロマート)
5X 0.15 23.5
10X 0.30 17.5
20X 0.45 4.5
50X 0.8 1.0
100X 0.9 1.0
TU Plan Apo EPI
プランアポ
(アポクロマート)
【位相フレネルレンズタイプ】
50X 0.8 2.0
100X 0.9 2.0
150X 0.9 1.5
偏光 TU Plan Fluor EPI P
偏光用プランフルオール
(セミアポクロマート)
5X 0.15 23.5
10X 0.30 17.5
20X 0.45 4.5
50X 0.8 1.0
100X 0.9 1.0
明視野
長作動距離
TU Plan EPI ELWD
長作動距離プラン
(セミアポクロマート)
【位相フレネルレンズタイプ】
20X 0.4 19.0
50X 0.6 11.0
100X 0.8 4.5
明視野
超長作動距離
T Plan EPI SLWD
超長作動距離プラン
(セミアポクロマート)
【位相フレネルレンズタイプ】
10X 0.2 37.0
20X 0.3 30.0
50X 0.4 22.0
100X 0.6 10.0
明暗視野 TU Plan Fluor BD
プランフルオール
(セミアポクロマート)
5X 0.15 18.0
10X 0.3 15.0
20X 0.45 4.5
50X 0.8 1.0
100X 0.9 1.0
TU Plan Apo BD
プランアポ
(アポクロマート)
【位相フレネルレンズタイプ】
50X 0.8 2.0
100X 0.9 2.0
150X 0.9 1.5
明暗視野
長作動距離
TU Plan BD ELWD
長作動距離プラン
(セミアポクロマート)
【位相フレネルレンズタイプ】
20X 0.4 19.0
50X 0.6 11.0
100X 0.8 4.5