第4回「ものづくり日本大賞」において内閣総理大臣賞を受賞

2012年2月6日PRESS RELEASE/報道資料

第4回「ものづくり日本大賞」の製品・技術開発部門において、株式会社ニコン(社長:木村 眞琴、東京都千代田区)の精機カンパニー液晶露光装置事業部の製品開発に携わった5名が内閣総理大臣賞を受賞いたしました。

「ものづくり日本大賞」について

「ものづくり日本大賞」は経済産業省、文部科学省、厚生労働省、国土交通省の4省連携により2005年8月に創設され、2年に1度開催される総理大臣表彰制度です。
我が国の産業・文化の発展を支え、豊かな国民生活の形成に大きく貢献してきた「ものづくり」を着実に継承し、さらに発展させていくため、特に優秀と認められる人材を表彰する制度であり、部門毎に最も優秀と認められる人材に対して内閣総理大臣賞が授与されます。

受賞案件の概要

案件名:
大型液晶パネル量産を可能としたマルチレンズ・アレー方式露光装置の開発

マルチレンズ・アレー方式とは、液晶パネルの回路をガラス基板に露光する液晶露光装置の投影光学系として開発した技術です。投影レンズ複数本を精度よく並べると共に、各レンズの露光パターンを滑らかにつなげるセルフキャリブレーションシステムを開発・搭載することにより、一度に大きな面積を精度よく露光することを可能とした画期的技術です。
従来の露光装置は露光領域が小さいため、大型パネルの量産は困難でした。本方式により、1回で大きな面積を露光することが出来るようになり、基板の大型化への対応と共に大型パネルの高品質かつ効率的な生産を可能としました。
本方式は2000年12月に3.5世代基板*に対応する装置に搭載され、その後さらなる基板の大型化への対応と共に改良を重ねることにより、現在では世界初かつ唯一の10世代基板*に対応する装置に搭載され、生産性は当初の製品の約12倍に向上しています。

受賞の意義

マルチレンズ・アレー方式による露光装置の実用化は、投影レンズのみならず数トンもある大型ステージのサブマイクロメートル単位での制御や露光後のパターン歪への対応等、基板の大型化に伴う諸課題を解決する技術によって初めて可能となったものです。
今回の受賞はこうした当社の卓越した光学技術と超精密制御技術が高く評価されると共に、本方式を搭載した露光装置による大型液晶パネルの効率的量産が大型テレビ、ノートパソコン、液晶モニター等の急速な普及を促進し、生活の向上と情報化社会の進展に貢献したことが認められたものです。

精機カンパニーは今後も製品競争力を強化し、情報化社会に貢献できるよう様々な技術開発を進めてまいります。

マルチレンズ・アレー方式による10世代基板用液晶露光装置 FX-101S

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