生産性と解像度を向上させたマルチレンズシステム搭載の第5~8世代対応露光装置

ニコン 液晶露光装置「FX-66S」「FX-76S」「FX-86S」を発売

2011年10月13日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン(社長:木村眞琴 東京都千代田区)は、液晶露光装置の新製品3機種「FX-66S」「FX-76S」「FX-86S」の販売を開始いたします。
従来機種より生産性と性能を向上させた、マルチレンズシステム搭載の液晶露光装置です。

発売概要

商品名 ニコン液晶露光装置「FX-66S」「FX-76S」「FX-86S」
販売開始 2011年10月より

新製品概要

FX-66S

スマートフォンに代表されるモバイル機器の普及・拡大に伴って、市場からは大型プレート基板の採用による液晶パネル及び有機ELパネルの生産効率向上が求められています。
「FX-66S」は、大型プレート基板による中小型パネルの生産に対応した露光装置です。生産性の向上とより安定した露光性能で、3マイクロメートル(L/S)以下の高解像度による高精細中小型パネルの量産を実現します。また、現在開発中のさらに解像度を高めた露光装置と互換使用することによって、より高精細なパネルの量産が可能となります。

FX-76S 及び FX-86S

大画面液晶TVの普及に伴い、大型液晶パネルには高品位(フルハイビジョンなど)と低価格の双方が市場から強く求められています。
この要望に対する当社の市場への提案が「FX-76S/86S」です。
大型プレート基板による大型液晶パネルの生産に対応した本露光装置で、生産性の向上とより安定した露光性能により、大型高品位液晶パネルの量産に寄与します。

FX-66S、FX-76S、FX-86Sの主な特長と仕様

高スループット

FX-66S(1300 mm × 1500 mm)の場合
毎時19,000枚(4インチパネル)、毎時6,600枚(7インチパネル)
FX-76S(1950 mm × 2250 mm)の場合
毎時514枚(42インチワイドパネル)、毎時385枚(48インチワイドパネル)
FX-86S(2200 mm × 2500 mm)の場合
毎時496枚(46インチワイドパネル)、毎時372枚(52インチワイドパネル)

露光性能の向上

FX-66S/76S/86Sは、第10世代基板用露光装置FX-101S用に開発した高度なキャリブレーション機能を適用し、より安定した露光性能を実現します。

マルチレンズシステムの搭載

複数の投影レンズで構成されたニコン独自のマルチレンズシステムを搭載。
広い露光範囲を確保すると同時に、レンズの生産方法に新技術を導入し、より安定した3マイクロメートル (L/S) 以下の高解像度を達成します。

主な仕様

  FX-66S FX-76S FX-86S
解像度(L/S) 3.0 μm(g+h+i線) 3.0 μm(g+h+i線) 3.0 μm(g+h+i線)
投影倍率 1 : 1 1 : 1 1 : 1
アライメント精度 0.6 μm 以下 0.6 μm 以下 0.6 μm 以下
最大プレートサイズ 1500 mm × 1850 mm 1950 mm × 2250 mm 2200 mm × 2500 mm
タクトタイム例 52秒/プレート
1300 mm × 1500 mm、
4スキャン、g+h+i線、30mJ/cm2
56秒/プレート
1950 mm × 2250 mm、
4スキャン、g+h+i線、30mJ/cm2
58秒/プレート
2200 mm × 2500 mm、
4スキャン、g+h+i線、30mJ/cm2

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