MEMS用縮小投影露光装置

「ミニステッパー NES2-h04/h06」を受注開始

2011年7月11日PRESS RELEASE/報道資料

縮小投影露光装置「ミニステッパー NES2-h04」

株式会社ニコン(社長:木村眞琴、東京都千代田区)の子会社、株式会社ニコンエンジニアリング(社長:小貫哲治、神奈川県横浜市)は、MEMS量産ラインのニーズに応え、200mmウェハ対応の「ミニステッパー NES2-h04」の受注を7月より開始しました。また、露光範囲を広げた投影レンズを搭載した「ミニステッパー NES2-h06」の受注を、9月から開始します。これらの装置は、これまでご好評をいただいているミニステッパーのコンセプト「小型・簡単・リーズナブル」を受け継いだものです。さらにオプションとして、レチクルローダ・ライブラリを用意し、量産ラインでの多品種・多工程の要求を満たします。
本商品は、7月13日から15日まで東京ビッグサイト(東京国際展示場)で開催される「マイクロマシン/MEMS展」にパネル展示する予定です。

発売概要

商品名 「ミニステッパー NES2-h04」
価格 1億2,000万円~(税込1億2,600万円~)(標準仕様)
受注開始時期 2011年7月
商品名 「ミニステッパー NES2-h06」
価格 1億3,000万円~(税込1億3,650万円~)(標準仕様)
受注開始時期 2011年9月

開発の背景

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造用の露光装置では、半導体と比べ微細化は限定的であるものの、厚膜レジストや高段差に対応するため、深い焦点深度が必要となります。また、MEMSの作成技術の一つであるバルクMEMSの場合、ウェハ裏面のアライメントマークに高精度に合わせて露光しなければなりません。
この市場要求に応え、株式会社ニコンエンジニアリングでは、2009年1月にミニステッパーNESシリーズ(150mmウェハに対応)を市場投入しました。現在では、MEMSに加えてLED、水晶振動子などの量産にも寄与し、好評をいただいています。
さらに近年は、MEMSの量産工場などから生産性向上のため、より大口径の200mmのウェハに対応して欲しいとのご要望があり、このたび、ラインアップに200mmウェハ対応の「ミニステッパー NES2-h04/h06」を追加することとしました。
200mmウェハ対応であっても、「小型・簡単・リーズナブル」のミニステッパーのコンセプトはそのままで、深い焦点深度と高精度な裏面アライメント機構(オプション)を備えています。
また、デバイスの量産に対応するため、レチクルローダ・ライブラリをオプション設定しました。
加えて、「NES2-h06」は、新規投影レンズを搭載し、従来15mm×15mmであった露光範囲を22mm×22mmに拡大しました。これにより、処理能力の向上とともに、ニコンNSRシリーズのステッパータイプとのミックスアンドマッチを容易にしています。

主な特長

1. 深い焦点深度

「NES2-h04」は、「NES1-h04」で定評のある投影レンズを搭載し、深い焦点深度を確保しています。「NES2-h06」は、新規設計の投影レンズを搭載し、露光範囲を22mm×22mmに広げるとともに、焦点深度を更に深めました。
また、照明系σ(シグマ:絞り)可変機構(オプション)を使用することにより、解像度と焦点深度の最適な条件設定が可能です。
あわせて、ステップ&リピート方式のメリットに加えてウェハ吸着機構の最適化により、反りの大きなウェハでの歩留りを向上します。

2. 小さなフットプリント

制御系を本体に組み込むことにより、200mmウェハ対応にもかかわらず、ウェハローダ付で3.3m2という驚異的に小さなフットプリントを実現。クリーンルームのスペース効率を向上し、ランニングコストの低減に寄与します。

3. 裏面アライメント機構が搭載可能(オプション)

ウェハ裏面のアライメントマークに合わせて、非常に高精度な0.8μm(+3σ)のアライメント精度で露光可能です。

4. NSRシリーズとのミックスアンドマッチが可能

「NES2-h06」の露光範囲は、ニコンNSRシリーズのステッパータイプと同等の22mm×22mm。また、NSRで使用されるものと同じアライメントマーク(FIAマーク・XY同時計測対応版)を使用可能にしました。これにより、NSRとのミックスアンドマッチが容易になりました。

5. レチクルローダ・ライブラリが搭載可能(オプション)

多品種・多工程の量産に対応するために、ミニステッパーとしては初めてレチクルケースに入れたレチクルをライブラリに12枚収納可能としました。レシピ設定に従い、自動で本体にローディングします。

6. リーズナブルな価格

徹底したコストダウンを行うとともに、デバイス毎に異なる必要な機能についてはオプション選択可能とし、縮小投影露光装置として非常にリーズナブルな価格を実現しました。

主な仕様

  ミニステッパー NES2-h04 ミニステッパー NES2-h06
解像度 2.0μm 3.0μm
投影レンズ縮小倍率 -1/2.5倍 -1/1.8倍
NA(開口数) 0.16 0.11
露光範囲 15mm×15mm 22mm×22mm
露光波長 405nm
アライメント精度 0.35μm以下(+3σ、エンバイロメンタルチャンバ使用時)
試料サイズ φ150mm、φ200mm
処理能力 φ200mmにて30枚/時 φ200mmにて60枚/時
寸法(W×D×H)・質量 1,440×2,289×2,100mm・2,000kg

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