ニコンとケーエルエー・テンコール、新たな重ね合わせソリューションを発表総合重ね合わせ精度改善システム『Scanner Match Maker(SMM)』の発売について

販売概要

開発の背景

　45ナノメートル以降の最先端デバイスの生産工程においては、何十層にも及ぶ回路パターンを1ナノメートル単位で正しく露光し、その重ね合わせ精度を上げることが重要です。2005年ITRSにおいて、リソグラフィーに対し、厳しい重ね合わせ精度が要望されました。これを機に、両社は、お客様の実際の生産現場を考慮した上で、個々の強みとノウハウを活かせるシステムの検討を行って参りました。今回発表致しますSMMシステムは、他社装置も混在した複数露光装置間でのウェハ・レイヤデータを統合・管理する仕組みと、ニコン独自の重ね合わせ精度補正技術による精度向上技術を統合したものとなっております。
　お客様の生産現場でのNSRの柔軟かつ効率的な利用を可能にし、結果としてチップ良品率向上、コスト低減、さらに今後の新プロセス立ち上げ期間短縮化への重要なソリューションとなります。

システムの特徴

1. 膨大な、重ね合わせに必要な装置データ管理を自動化。
2. 複雑な重ね合わせ精度の改善を、従来の手作業から自動生成化へ。
3. ニコン露光装置（以下NSR）間に限定される事なく、他社露光装置との重ね合わせ精度の改善も、自動化により迅速かつ効率的に対応。
4. ソフトウェア、管理サーバのみの、簡易構成によるシステム導入が可能。

システムの構成

　SMMの導入に際しては、既に市場に投入されているニコンおよびケーエルエー・テンコール各社のシステムの機能を充実させる事を考えました。すなわち、ニコンからは、NSR自己診断情報管理システム『LEES』サーバーを、ケーエルエー・テンコールからは、重ね合わせ計測機Archerシリーズの情報統合管理サーバー『KT Analyzer（KTA）』に対して、両社で開発した、重ね合わせロジック、重ね合わせデータベース・自動補正ソフトウェアと、接続ライセンスを提供する事で、容易に、現生産ラインへの導入が可能となります。

ケーエルエー・テンコールについて

　KLA-Tencorは、半導体製造および関連業界向けの歩留まり管理、およびプロセス管理ソリューションにおける世界的なリーディングカンパニーです。カリフォルニア州サンノゼに本社を置き、世界中に販売およびサービス拠点があります。S&P500社にランキングされており、KLACという名称でNASDAQグローバル・セレクト・マーケットで取引されています。詳細についてはhttp://www.kla-tencor.comをご覧ください。

• http://www.kla-tencor.com