スカイフック構造のi線スキャンフィールドステッパー　さらなる高スループットを実現i線スキャンフィールドステッパー「NSR-SF155」の発売について

販売概要

開発の背景

　ニコンは、2000年1月、DUVエキシマスキャナーとのミックス＆マッチに主眼を置いたi線スキャンフィールドステッパー「NSR-SF100」を業界に先駆けて開発しました。全レイヤの約半分を占めるノンクリティカルレイヤの露光に最適化した「NSR-SF100」は、DUVエキシマスキャナーと共通化した縮小倍率と露光領域、十分な解像度や高スループットなど、コストパフォーマンスに優れた露光装置です。2006年、その後継機「SF-150」は、180枚/時の高スループットを実現し、生産性の向上と製造ラインのトータル投資コストの低減に貢献しております。結果「SFシリーズ」としての累積販売台数は既に350台を超えるに至りました。
　今回発表する「NSR-SF155」は、新プラットフォーム：スカイフック構造を採用した「NSR-SF150」のスループットにフォーカスし、その性能を大幅に向上（200枚以上/時）させた新モデルとなっております。

主な性能

主な特長

1. 超高スループット化

   　ステッパーに最適な新プラットフォーム：スカイフック構造とウェハステージの高速化により、大幅な振動低減と高スループット化を実現。その結果、300ミリウェハで、1時間あたり200枚以上の超高スループットを可能にしました。

2. 高い重ね合わせ精度を維持

   　SF150同様、スカイフックプラットフォームの採用に加え、カウンターマスを採用、さらに空調ダクト配置の見直しによるチャンバー内の熱対策により重ね合わせ精度25nm（ナノメートル）以下を維持しています。

3. トータル投資コストの低減に貢献

   　ニコンでは、お客様の製造ラインにおいてSF150をSF155にアップグレード可能なシステムとしました。
   　またチャンバー内熱対策による歩留まり向上や超高スループットの実現により製造ラインにおけるトータル投資コストの低減に貢献します。