省スペース化に対応した世界最小アブソリュートリニアエンコーダアブソリュートリニアエンコーダ「SAL-S40A」の発売について

発売概要

発売のねらい

　リニアエンコーダは、リニアモータなどの変位量をデジタル量として検出するために用いる計測器です。リニアモータの位置・速度を検出して制御部に情報を伝達するセンサーとしても普及し、半導体製造装置や工作機械など各種産業機械の分野で幅広く利用されています。最近では、従来のインクリメンタルタイプ^※2（相対位置検出型）に加え、電源ON時に原点復帰作業をすることなく、エンコーダの絶対位置が認識でき、作業の効率化を図るアブソリュートタイプ（絶対位置検出型）の需要も大きく伸びています。
　今回発売する製品は、半導体製造装置などの精密位置決めを主な用途としています。反射型光学系を採用することで、リニアエンコーダの超小型化とアブソリュート化を実現しました。また、スケールには、「ニコンM系列アブソリュートパターン」^※3を採用し、バッテリレスを実現、双方向フルシリアル通信「ニコンAフォーマット」を搭載することにより、回転型とリニア型を同一通信フォーマットで使用できます。

• ※1アブソリュートタイプのリニアエンコーダにおいて。（2007年8月31日現在、当社調べ）
• ※2位置情報をスタート時点（原点）からの積算量で検出するため、システムの電源OFF時には情報がリセットされてしまい、再スタートの際に各軸をスタートの位置に戻すなどの原点復帰作業が必要。
• ※3最大周期系列の略称。バーコードパターンのような不規則な“0”と“1”によって形成されている。有効ストローク内でパターンを読み取った場合、すべての位置でパターンが異なる。

主な特長

1. 世界最小ヘッド部を実現

   　ニコン独自のM系列を応用したアブソリュートパターン技術と優れた光学設計によって、アブソリュートリニアエンコーダヘッド部として世界最小の25.0（W）×12.7（D）×8.2（H）mmを実現。お客様装置の設計自由度を格段に高めます。

2. バッテリバックアップが不要

   　バッテリバックアップ不要の完全アブソリュートシステムです。

3. 最小読み取り値60ナノメートルを達成

   　最小読み取り値60ナノメートルを達成。位置決め制御の向上にも大きく貢献します。

4. 双方向フルシリアル通信「ニコンAフォーマット」を採用

   　線数4本の省配線フルシリアル通信フォーマットを採用しています。さらに8台までのバス接続が可能です。（オプション）

主な仕様