PRESS RELEASE/報道資料

ArF液浸スキャナー「NSR-S609B」が、「2006年日経優秀製品・サービス賞　最優秀賞」を受賞

2007年1月5日

　株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）のArF液浸スキャナー「NSR-S609B」が、日本経済新聞社主催による「2006年日経優秀製品・サービス賞　最優秀賞　日経産業新聞賞」を受賞しました。
　本賞は、毎年日経四紙記事データベースと日経新製品データベースに収録された新製品（年間約２万点）の中から、技術開発性・価格対効果性・業績寄与度・成長性・独自性・産業と社会へのインパクトなどを総合的に判断し、特に優れた新製品・新サービスに与えられるものです。25回目を迎えた今回は最優秀賞16点、優秀賞28点、審査員特別賞1点が選定されました。
　なおニコンはデジタル一眼レフカメラ「D70」により、2004年日経優秀製品・サービス賞　最優秀賞　日経産業新聞賞を受賞しています。

　昨年1月より出荷を開始したArF液浸スキャナー「NSR-S609B」は、LSI製造の要である回路パターンをシリコンウェハに露光する装置です。ニコンが他社に先駆けて業界に提案した液浸露光技術により技術の方向を大きく変えたものです。　投影レンズとウェハの間を純水で満たすことで、大気中で露光する従来方式では不可能であったNA（開口数：レンズ性能を表す指標）1.0の壁を世界で初めて突破した画期的な製品であり、ローカルフィルノズルやタンデムステージなどが大きな特徴となっています。最小回路線幅55nm以下（1nmは100万分の1mm）に対応し、最先端の半導体工場で稼働しています。

　ステッパーやスキャナーと称される露光装置は「史上もっとも精密な機械」とも言われる超ハイテク製品です。「信頼と創造」の企業理念のもと、LSIの微細化を先進の技術で支えることで、ニコンは高度化する情報社会にこれからも貢献していきます。

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