新プラットフォーム採用により超高スループットと重ね合わせ精度の向上を実現ニコン 縮小投影型露光装置 「NSR-SF150」の発売について
2006年11月20日
株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）は、次世代DRAMやMPUのノンクリティカルレイヤ露光に威力を発揮する、i線スキャンフィールドステッパー「ニコン 縮小投影型露光装置 NSR-SF150」を開発し、2007年2Qから販売を開始します。高い生産性実現のため、ニコンは新しいプラットフォーム：スカイフック構造を確立しました。スカイフック構造とは、投影レンズを吊り下げることで、床からの振動をシャットアウトし、大幅な振動低減を実現するものです。このスカイフック構造に加え、チャンバー内の空気の安定性向上、レチクルステージレス化とウェハステージの軽量化によりステージの高速化を実現しました。その結果、重ね合わせ精度の大幅向上と共に300ミリウェハで毎時180枚以上の高スループットを実現、従来機種比約54％の向上を果たしました。
販売概要
| 商品名 | ニコン 縮小投影型露光装置「NSR-SF150」 |
|---|---|
| 販売開始時期 | 2007年2Q（2007年4月～6月） |
開発の背景
ニコンは、2000年1月、DUVエキシマステッパーとのミックス＆マッチに主眼を置いたi線スキャンフィールドステッパー「NSR-SF100」を業界に先駆けて開発しました。全レイヤの約半分を占めるノンクリティカルレイヤの露光に最適化した「NSR-SF100」は、DUVエキシマステッパーと共通化した縮小倍率と露光領域、十分な解像度や高スループットなど、コストパフォーマンスに優れた露光装置です。以来、「NSR-SF100」とその後継機は、生産性の向上と製造ラインのトータル投資コストの低減に貢献し、「SFシリーズ」としての累積販売台数は、300台を超えるに至りました。
今回発表する「NSR-SF150」は、新プラットフォーム：スカイフック構造を採用したことにより、大幅な振動低減を果たし、重ね合わせ精度とスループットの大幅な向上を実現しました。
主な性能
| 解像度 | 280nm以下 |
|---|---|
| NA（開口数） | 0.62 |
| 光源 | i線（波長365nm） |
| 縮小倍率 | 1/4倍 |
| 露光領域 | 26×33mm |
| 重ね合わせ精度 | 25nm以下（M+3σ） |
| スループット | 300mmウェハ毎時180枚以上（露光量 200mJ/cm2） |
主な特長
- 超高スループット化
ステッパーに最適な新プラットフォーム：スカイフック構造と軽量ウェハステージの採用により、大幅な振動低減とステージの高速化を実現。その結果、300ミリウェハで、1時間あたり180枚以上（当社従来機種比、約54％ 向上）の超高スループットを可能にしました。
- 重ね合わせ精度の大幅向上
スカイフックプラットフォームの採用に加え、一括型ステッパーでは、初めてカウンターマスを採用、また空調ダクト配置の見直しによるチャンバー内の空気安定化やレチクルステージレス化に成功したことにより重ね合わせ精度25ナノメートル以下（当社従来機種比 約30％向上）を実現しました。
- トータル投資コストの低減に貢献
超高スループットの実現とコンパクトなフットプリントにより製造ラインにおけるトータル投資コストの低減に貢献します。
スカイフック構造
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