高精度測定、デジタル画像取得など多彩な性能を追求測定顕微鏡「MM-400/800」シリーズの発売について

発売概要

発売のねらい

　近年、半導体、自動車関連、MEMSなどの分野における加工品の測定サンプルの微細化や複雑形状化が進んでいます。今回発売する測定顕微鏡「MM-400/800」シリーズは、高精度な測定、高倍率での鮮明な画像取得、観察を可能にした測定顕微鏡です。
　1996年の測定顕微鏡「MM-40/60」シリーズ発売以降、約10年間のユーザー情報を分析し、さらに近年の多岐にわたるお客様からのニーズを徹底検証して、開発を行いました。高さ（Z軸）測定の性能を向上させ、多様なサンプル測定、デジタル画像による測定、画像取得などを実現しました。サンプルの大きさに合わせた本体・ステージ、多様な観察方法への対応、高さ測定の有無などの対応を可能にしたさまざまなシステムの組み合わせが、お客様の用途と目的に応じた測定、検査を可能にします。

主な特長

1. 高さ（Z軸）測定性能の向上

   　測定顕微鏡では初めてのTTLレーザーAF機構を採用。また、新開発のフォーカスエイド（FA）機能は、正確なピント合わせを可能にして、対物焦点レンズの焦点深度による測定誤差を低減します。

2. 顕微鏡用デジタルカメラが装着可能

   　顕微鏡用デジタルカメラを使用した観察画像の取り込みを実現。また、測定からデータ活用を可能にする処理測定支援システム「E-MAX」シリーズと組み合わせることにより、高精度なデジタル画像測定が可能です。

3. さまざまなシステム組み合わせが可能

   　半導体デバイスなど微細サンプルの測定に適したユニバーサルタイプ。基板や金型、自動車部品など高精度測定に適したフォーカスエイド（FA）タイプ。コストパフォーマンスを重視したスタンダードタイプ。また、測定システム全体での精度向上、作業効率アップを目的とした新開発のデータ処理装置「DP-E1」とのシステムアップなど、さまざまなニーズに対応した組み合わせが可能です。

4. 多様なサンプルに対応する照明装置をラインナップ

   　明視野観察用の高輝度白色LED照明装置や多様な観察ニーズに対応するユニバーサル反射照明装置。12V50Wハロゲン光源など照明装置の拡充を図り、観察領域が広がりました。また、高輝度白色LED照明はランプ交換の頻度を大幅に低減しランニングコストを削減します。

5. 大型のサンプルに対応

   　本体ボディ全体の剛性を高めて、新開発の12×8（300mm×200mm）大型ステージを搭載することで、大型のサンプルの測定にも対応しています。

6. 操作性を向上

   　オペレーターの操作性を最適化するために状況に合わせて左右どちらかでも操作できる両軸タイプの粗微動ハンドル、大型ながら操作しやすいステージなどエルゴノミクスに配慮した設計を実現。また、測定顕微鏡でのデジタル画像取得、データ保存を最適に行うため、各種操作の電動化タイプも開発、主要な操作が一ヶ所で行えます。

主な仕様

測定顕微鏡「MM-400/800」シリーズ