広範な用途に柔軟に対応、モジュール設計の顕微鏡システム工業用顕微鏡「ECLIPSE LV150A/150」「ECLIPSE LV100D」の発売について
2005年4月26日
株式会社ニコン（社長：嶋村 輝郎）は、半導体デバイス、FPD（フラットパネルディスプレイ）、電子部品、素材・材料、精密金型といった多種多様な工業製品の顕微鏡観察、検査に用いられる工業用顕微鏡「ECLIPSE LV150A/150」「ECLIPSE LV100D」3機種を開発。2005年6月1日から販売を開始します。
「LV150A/150」は、透過性がなく比較的大きなサンプルを対象にした落射照明専用機。「LV100D」は、透過性のある中・小型のサンプルを対象にした透過/落射照明両用機です。
ECLIPSE LV150A
ECLIPSE LV100D
販売概要
| 商品名 | 工業用顕微鏡「ECLIPSE LV150A/150」 工業用顕微鏡「ECLIPSE LV100D」 |
|---|---|
| 価格 | LV150A 1,418,000円～（税込 1,488,900円～） LV150 1,120,500円～（税込 1,176,525円～） LV100D 1,122,500円～（税込 1,178,625円～） （仕様により異なる） |
| 販売予定日 | 2005年 6月1日 |
| 販売予定数 | 初年度 1,500台(3機種合計) |
開発の背景
産業分野向けの工業顕微鏡は、半導体デバイス・パッケージ、FPD、電子部品、素材・材料、精密金型などといった多種多様なサンプルの観察、検査に使用されます。主に研究開発・品質管理・検査部門や製造工程内検査等で用いられ、サンプルの形状、寸法、重さなどは多種多様であり、観察方法も多岐にわたっています。
今回発表する「ECLIPSE LV150A/150」「ECLIPSE LV100D」の3機種は、モジュール設計という新たなコンセプトに基づき、多様なサンプルを多彩な観察方法で使いたいというユーザーのニーズに向けて開発しました。
また最近の、デジタル化への波は、顕微鏡に対しても例外ではなく、目視観察やフィルムへの画像記録からモニターによる観察、デジタル画像でのデータ保存へと急激にシフトしてきました。「ECLIPSE LVシリーズ」は、単に高品質のデジタル画像を追求するだけでなく、生産性改善に向けて作業者にとってストレスのない操作環境を提供します。
主な特長
- 多種多様なサンプルに対応
産業分野向け工業顕微鏡には、形状・寸法・重さなど、多種多様なサンプルへの対応が求められます。ボディやサブステージなど、モジュール構造の採用と、ステージ類の充実により、さまざまなサンプルの顕微鏡観察を可能にしました。
「LV150A/150」は、比較的大きなサンプル（150×150ミリまで）を対象に、「LV100D」は、中・小のサンプル（75×50～150×100ミリまで）を対象にしています。
さらに顕微鏡本体のスタンド部とアーム部の間に「LV-CR コラムライザ35」を併用することで、最大被検物高さを標準の47ミリから82ミリへとプラス35ミリ拡大させることが可能です（LV150A/150）。 - 観察領域の拡大
従来製品が持っていた落射明視野・暗視野・微分干渉・簡易偏光・可視域での蛍光観察・干渉観察に加え、鋭敏偏光・紫外域での蛍光観察を追加。これにより、多様化する研究・解析・検査分野のさらなるアプリケーションの広がりをサポートします。
- 標準対物レンズを一新
工業用CFI60光学系システムの標準対物レンズ群を一新。高N.A.と長作動距離の両立はそのままに、透過波長域を紫外域にまで拡大しました。
これにより落射明視野・暗視野・簡易偏光・微分干渉・可視域からUV域までの蛍光観察が、新しい標準対物レンズで可能です。
また、液晶をはじめとするFPD用ガラス基板の薄型化、デバイスの高密度化に対応するために、新たにガラス基板厚補正機構付の高N.A.対物レンズを開発。補正範囲を0～1.2ミリまで拡大し、ガラス基板越しの内部構造を高コントラストで観察できます。 - 優れた操作性・帯電防止機能を採用
操作性の向上をめざし、チルト機構採用のLV-TT2 正立三眼チルト鏡筒を用意。使用状況に合わせて観察者のアイレベルが選べます。
反射照明装置は明暗視野・微分干渉観察に対応のLV-UEPIに加え、蛍光観察まで対応のLV-UEPI2の2タイプを用意。明暗視野照明切換時の開口絞り・視野絞りの連動機構など作業者に使い易さを提供します。
6×6・6×4・3×2ステージは、3枚板構造の採用により優れた操作性を実現しています。さらに、ボディ・観察鏡筒・照明装置・レボルバ・ステージなど直接手で触れる部分に帯電防止機能を施し、サンプルを静電気から守ります。 - 顕微鏡デジタルカメラとのシステム構築
アナログCCDカメラに匹敵する動画表示を可能にする顕微鏡専用デジタルカメラ「DS-2M（200万画素CCD）」シリーズ（2005年5月1日販売予定）との組み合わせにより、LCDモニター上においても滑らかな動画表示を実現し、ストレスのない観察が可能です。
また、さらなる高画質性能を誇る「DS-5M（500万画素CCD）」シリーズとのシステム構築も可能です。
「LV150A」は、通信インターフェースを装備。カメラコントロールユニット「DS-L1」との組み合わせで、対物倍率に応じてスケール表示が可能になり、2点間距離測定を容易に行うことができます。
主な仕様
| 鏡基（本体部） | 構造 | アーム部/スタンド部分離構造 アーム部とスタンド部間にコラムライザ挿入可 |
|---|---|---|
| 焦準部 | LV150/LV150A：上下動ストローク40mm LV100D：上下動ストローク30mm 一軸粗微動ハンドル 左側：粗微動/右側：微動、 粗動ハンドルトルク調節/再焦準機構付 粗動14.0mm/回転、微動0.1mm/回転（1目1μm目盛付） |
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| サブステージ部 | LV150/LV150A：本体部より着脱可 LV100D：本体部より着脱不可、 コンデンサホルダ部付（コンデンサ心出し機構付） |
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| 電気系 | 電動レボルバ回転スイッチ/シリアル通信用コネクタ付
（LV150Aのみ） ランプON/OFFスイッチ付調光用ボリューム（LED表示） LV100D：透過/反射照明切換えスイッチ付 |
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| 透過照明部 | フライアイ照明系内蔵、視野絞り/ND8・NCB11フィルタ内蔵 （LV100Dのみ） | |
| レボルバ | 電動レボルバ | LV-NU5A 高耐久電動ユニバーサルレボルバ（防眩機能付） （LV150Aのみ） |
| 手動レボルバ | CN-6 明視野6ヶ孔レボルバ、 L-NBD5明暗視野5ヶ孔レボルバ（防眩機能付） L-NU5ユニバーサル5ヶ孔レボルバ（防眩機能付） |
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| 反射照明装置 | LV-UEPI | 12V50Wハロゲンランプ照明装置 （明視野/暗視野の2段切換え・プリセンタ方式） 明暗視野の切換えと連動の開口絞り・視野絞り（心出し可） φ25mmフィルタ（NCB11、ND16、ND4）挿入可 ポラライザ/アナライザ挿入可 |
| LV-UEPI2 | 4連ターレット構造、明視野/暗視野照明は固定、 +2落射蛍光キューブによる切換え方式 12V50Wハロゲンランプ照明装置 明暗視野の切換えと連動の開口絞り・視野絞り （両絞りとも心出し可） φ25mmフィルタ（NCB11、ND16、ND4）挿入可 ポラライザ/λプレート/アナライザ/励起光バランサ挿入可 |
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| 鏡筒 | 正立像タイプ | LV-TI3三眼鏡筒（視野数:22/25） LV-TT2三眼チルト鏡筒（視野数:22/25） |
| 倒立像タイプ | Y-TF三眼鏡筒（視野数:22/25） Y-TT三眼鏡筒（視野数:22/25） Y-TB双眼鏡筒（視野数:22） C-TE双眼チルト鏡筒（視野数:22） |
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| ステージ | 透過/反射可 | LV-S32 3×2ステージ （ストローク：75×50mmガラスプレート共） LV-S64 6×4ステージ （ストローク：150×100mmガラスプレート共） |
| 反射専用 | LV-S6 6×6ステージ（ストローク：150×150mm） | |
| 接眼レンズ | CFI接眼レンズシリーズ | |
| 対物レンズ | CFI60光学システム 対物レンズシリーズ（無限遠補正CF光学系） | |
| コンデンサレンズ | アッベコンデンサ、アクロマートコンデンサ、 アクロマートLWDコンデンサ、暗視野コンデンサ（ドライ） （LV100Dのみ） |
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| 帯電防止機能 | 1000～10V、0.2秒以内 | |
| 消費電力 | 1.2A/75W | |
| 外形寸法 | LV150/LV150A：約250（W）×508（H）×457（D）mm LV100D： 約250（W）×508（H）×469（D）mm |
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| 質量（重さ） | 約17kg(仕様により異なる) | |
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