広視野一括3D測定を高速・高精度で行う画像測定機CNC画像測定システム「コンフォーカルNEXIV VMR-K3040ZC」の販売開始について

販売概要

開発の背景

　CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて、各種精密機器・電子部品等の寸法・形状を高精度に自動測定・検査する装置です。CCDカメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを検出、データ処理をすることで、複雑な形状のものでも測定が可能です。

　今回、販売を開始する「コンフォーカルNEXIV VMR-K3040ZC」は、ニコンのオプトメカトロニクス技術を結集して、従来のNEXIVシリーズの機能に視野内一括の高さ測定機能を加えて開発された全く新しいタイプの画像測定装置です。共焦点光学系を用いて高速・高精度で微細な立体形状を検出し、評価します。また、15倍のCNCハイスピードズームを備えた明視野光学系での2次元寸法測定が可能なマルチ検出ヘッドにより、同一視野内での2次元と3次元の測定を可能にしています。

　最先端の半導体パッケージの3次元評価、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）などの微細な複雑形状の部品の検査などに最適です。その他、精密光学部品、超精密金型等微細複雑な立体形状の評価といったさまざまなニーズにお応えします。

主な特長

1. 高速・高精度広視野一括3D測定

   　新たに開発した専用の3次元測定対物レンズと、ニコンの光学技術・精密制御技術により、高速・高精度での高さ測定が可能です。

2. 高感度・広ダイナミックレンジ検出

   　フレアを抑えたニコン独自のコンフォーカル光学系の採用により、測定対象物の高感度・広ダイナミックレンジでの検出が可能です。
   　保護膜やガラス等の半透明・低反射材質の測定が可能になります。

3. 2次元測定用の明視野光学系を搭載

   　従来の「NEXIVシリーズ」で実績のある15倍のCNCハイスピードズームの搭載により測定箇所に合わせた最適な倍率での明視野2次元測定が可能。

4. 同一視野での2次元、3次元測定が可能

   　コンフォーカル光学系と2次元測定用のズーム光学系を併せ持つマルチ検出ヘッドにより、同一視野での観察が可能。

5. 高い操作性

   　従来の「NEXIVシリーズ」で高い評価を受けてきた高機能で使いやすいユーザーインターフェースを継承しています。

主な仕様