PRESS RELEASE/報道資料

マルチレンズ投影光学系搭載の第7～8世代機ニコン 液晶ディスプレイ用露光装置「FX-71S」「FX-81S」の発売について

2005年4月14日


ニコン 液晶ディスプレイ用露光装置「FX-81S」

　株式会社ニコン（社長：嶋村 輝郎）は、第7～8世代のプレートサイズに対応した液晶ディスプレイ用露光装置「FX-71S」「FX-81S」を開発。2005年秋から販売を開始する予定です。「FX-81S」は、世界最大のプレートサイズに対応します。

　液晶ディスプレイ用露光装置は、マスク上のパターンを走査露光およびステップ移動を繰り返して、ガラスプレートに転写をするものです。マルチレンズ光学系搭載により、1スキャンで最大57インチワイドパネル、45インチワイドクラス2面の露光が可能。生産性の向上に貢献します。

販売概要

商品名 ニコン 液晶ディスプレイ用露光装置「FX-71S」「FX-81S」
販売開始時期 2005年秋
販売予定数 初年度　約20台(2機種あわせて)

開発の背景

　ノートパソコン用ディスプレイとして市場を確立してきたTFT（Thin Film Transistor）方式アクティブマトリクスカラーLCDは、デスクトップ型パソコンのモニタやテレビモニタにも数多く採用され、その市場を急速に拡大しています。
　ニコン 液晶ディスプレイ用露光装置「FX-71S」「FX-81S」は、第7～8世代のプレートサイズに対応し、40～50インチワイドクラスパネルの効率的な量産を可能にしました。「FX-81S」の対応プレートサイズ（2200×2400mmクラス）は、世界最大です。
　ニコンは、「FX-71S」「FX-81S」の販売開始により、大型液晶ディスプレイ用露光装置のラインアップを拡充。高精細な中・小型液晶ディスプレイ用露光装置とあわせ、パネルメーカーからの多様なニーズにお応えします。

主な特長

  • 新開発マルチレンズ投影光学系を搭載

    11本の投影レンズで構成された新開発のマルチレンズ投影光学系を搭載。一回の走査露光で最大57インチワイドパネルを焼き付けることが可能です。また、45インチワイドクラスのパネルの場合は、2面焼き付けることが可能です。

  • 露光範囲の拡大によりスループットを飛躍的に向上

    FX-71S (2000×2200mmの場合)：
    毎時384枚(42インチワイドパネル)、毎時294枚(48インチワイドパネル)
    FX-81S (2200×2400mmの場合)：
    毎時384枚(45インチワイドパネル)、毎時240枚(52インチワイドパネル)

  • 大型プレート対応

    第7～8世代サイズの大型プレートサイズに対応。一枚のガラスプレートから最大、下記の通りのパネル数を取ることが可能です。
    FX-71S (2000×2200mmの場合)：
    8面(42インチワイドパネル)、6面(48インチワイドパネル)
    FX-81S (2200×2400mmの場合)：
    8面(45インチワイドパネル)、6面(52インチワイドパネル)

  • 広い露光範囲と高解像度の両立

    マルチレンズ投影光学系の搭載で、広い露光範囲を確保しながら、従来から定評のあるステッパー方式の露光装置と同様に、3.0マイクロメートル以下（ライン＆スペース）の高解像度（オプション）を達成しています。

主な仕様

投影倍率 1:1（等倍）
解像度（L/S）
　op.(切替可)		 3.5μm（g+h+i線）
3.0μm（i線）
アライメント精度 0.6μm以下
最大プレートサイズ 2000×2200mmクラス(FX-71S)
2200×2400mmクラス(FX-81S)
マスクサイズ 1220×1400mm
タクトタイム 74秒/プレート※(FX-71S)
75秒/プレート※(FX-81S)
  • ※4スキャン時、g+h+i線、30mJ/cm2
関連リンク
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