ラインアップを充実、高速・高精度自動測定を行う画像測定機CNC画像測定システム「NEXIV VMR-1515/12072」の販売開始について
2004年11月17日

株式会社ニコン(社長:嶋村 輝郎)は、金型やプリント基板、プレス品や小型の電子部品を非接触で高精度に測定するCNC画像測定システム「NEXIV VMR-1515」を開発、2005年1月初旬より販売を開始します。
また従来機種よりステージのストロークを拡大し、大型FPD(Flat Panel Display)の測定に最適な「NEXIV VMR-12072」の受注を開始、2005年2月初旬より販売を開始する予定です。
販売概要
| 商品名 | CNC画像測定システム「NEXIV VMR-1515」 CNC画像測定システム「NEXIV VMR-12072」 |
|---|---|
| 価格 | VMR-1515:7,400,000円(税込 7,770,000円)~ VMR-12072:24,100,000円(税込25,305,000円)~ <2機種ともオプションにより異なります> |
| 販売開始時期 | VMR-1515:2005年1月初旬 VMR-12072:2005年2月初旬 |
| 販売予定台数 | VMR-1515:初年度100台(VMR-12072は、受注生産) |
開発の背景
CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて、各種精密機器・電子部品等の寸法・形状を高精度に自動測定・検査する装置です。CCDカメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを検出、データ処理をすることにより、複雑な形状のものでも測定が可能です。
今回、販売を開始するCNC画像測定システム「NEXIV VMR-1515」は、現行の「NEXIV VMRシリーズ」で好評を得ている光学系、オートフォーカス機能、画像処理機能、アプリケーションソフト等、さまざまな優れた機能を継承しながら、小型部品を多品種少量生産する用途に最適なストロークとするために小型ステージを採用。高精度・高スループットを実現しながら、シリーズで最もお求めやすい価格となっています。これにより小型精密部品といった新しい市場においてもご活用いただけます。
「NEXIV VMR-12072」は、大ストロークタイプ「VMR-10080」よりもX方向のストロークを200ミリ拡大することで、45インチクラスの大型FPDの測定にも対応が可能になりました。今回、「NEXIV VMRシリーズ」に新たに2機種を追加することで、さらなるラインアップの充実を図ります。
主な特長 [VMR-1515]
- 高精度化とU2精度保証を実現
最新のシミュレーション技術による最適設計により、測定精度を大幅に向上。検査用基準スケールをステージ上の対角方向において測定する場合の精度を表すU2精度においても標準で装備しています。
- 高スループット
駆動最高速度200mm/s の小型ステージに加え、サンプリング、信号処理、制御など動作の高速化と処理時間の短縮により、トータルスループットの高い装置です。
- エッジ検出率の向上
多彩な照明、優れた画像処理機能により、測定困難なサンプル画像においても安定したエッジ検出が可能です。
- 広視野とTTL高さ測定を両立
高N.A.0.35の測定機専用の光学系を搭載、50mmの長作動距離を保ちながら、高解像度の精密測定を可能にしました。
- 基本から高度な測定まで簡単操作を実現
操作画面のウィンドウ構成は、ユーザーに合わせてカスタマイズでき、作成したウィンドウ構成は、5種類まで登録が可能です。測定手順を分かりやすく指示する測定ウィザード、稼動実績をベースに作成されたオンラインヘルプ機能などを搭載。測定ノウハウを含む適切なアドバイスでユーザーをサポートします。
主な仕様
| [VMR-1515] | |
|---|---|
| 形式 | シングルコラム・XYステージ型 |
| ストローク(X×Y×Z) | 150×150×150mm |
| ガイド方式 | X,Y:クロスローラガイド、Z:LMガイド |
| 測長方式 | 透過型リニアエンコーダ |
| XY測定精度 | U1XY:1.5+4L/1,000μm 、U2XY:2.5+4L/1,000μm |
| 測長最単位 | 0.0001mm |
| 駆動最高速度 | X,Y:200mm/s 、Z:50mm/s |
| 駆動最低速度 | X,Y,Z:0.01mm/s |
| 被検物耐久保障質量 (重さ) |
20kg |
| 大きさ | 約512(W)×1,200(H)×703(D)mm |
| 質量(重さ) | 約180kg |
| [VMR-12072] | |
|---|---|
| 形式 | ブリッジ・固定ブリッジ型 |
| ストローク(X×Y×Z) | 1,200×720×150mm |
| ガイド方式 | X,Y:LMガイド、Z:LMガイド |
| 測長方式 | 透過型リニアエンコーダ |
| XY測定精度 | U1XY:2.2+4L/1,000μm 、U2XY:3.2+4L/1,000μm |
| 測長最単位 | 0.0001mm |
| 駆動最高速度 | X,Y:300mm/s、Z:50mm/s |
| 駆動最低速度 | X,Y,Z:0.01mm/s |
| 被検物耐久保障質量 (重さ) |
40kg |
| 大きさ | 約1,734(W)×1,750(H)×2,200(D)mm |
| 質量(重さ) | 約1,600kg |
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