PRESS RELEASE/報道資料

大型液晶ディスプレイ、大口径ウェハの高度な外観検査をサポートFPD/300mmウェハ検査顕微鏡「ECLIPSE L300/L300D」

2004年5月14日

株式会社ニコン（社長：嶋村 輝郎）は、大型化に拍車がかかる液晶ディスプレイや本格化した300ミリウェハに対応する、FPD/300mmウェハ検査顕微鏡「ECLIPSE L300/L300D」を開発。2004年6月1日から販売を開始します。

販売概要

商品名 FPD/300mmウェハ検査顕微鏡「ECLIPSE L300/L300D」
価格〈税別〉
  • L300：2,172,000円(税込2,280,600円)～
    反射照明専用機（セット内容により異なる）
  • L300D：2,342,000円(税込2,459,100円)～
    反射照明/透過照明両用機（セット内容により異なる）
販売開始時期 2004年6月1日
販売予定数 初年度250台（2モデル合計）

開発の背景

携帯電話やパソコンのモニタ、薄型テレビといった液晶ディスプレイを含むFPD（Flat-Panel Display）市場の拡大は急激に進み、また液晶テレビに代表されるようにディスプレイの大型化にも拍車がかかっています。IC製造においても300ミリウェハが本格導入されるなど、顕微鏡を用いた外観検査においても検査対象物の大型化への対応が要求されています。

今回発表する「ECLIPSE L300/L300D」は、「明るさ」「コントラスト」「操作性」を向上させながら、大型化する液晶ディスプレイ、大口径ウェハの高度な外観検査を開発の主眼においたシリーズ上位モデルです。

「L300D」は、FPDといった透過性のある検査対象物の観察に用いられ、反射照明/透過照明両用機であり、最大17インチ液晶パネルの透過照明観察が可能です。また、品質保証部門などで活用される、微分干渉観察や偏光観察にも対応しています。「L300」は、主にIC製造におけるウェハなど、透過性のない検査対象物の観察に用いられる反射照明専用機です。

「ECLIPSE L300/L300D」は、ニコンオリジナルの無限遠補正光学系CFI60を搭載し、対物レンズに高性能反射防止膜を採用するなど、従来機種に比べ光学性能のアップを実現しました。

今年度、500台にまで拡大すると予測される市場の中で、その半分にあたるシェア獲得を目指します。

主な特長

  • ニコン独自の無限遠補正光学系CFI60システムを搭載

    顕微鏡のシステム性向上を実現させたニコン光学技術の結晶、無限遠補正光学系CFI60システムを搭載。対物レンズの同焦点距離が60ミリという優位性を生かし、高N.A.（開口数）を確保しながら作動距離も長くという、これまで両立が困難だった特性を同時に実現し、高解像度で高コントラストな観察を可能にしました。暗視野観察では従来機種に比べ約3倍の明るさとなり、微細なキズ、段差などにおける検出感度を格段に向上させました。

  • 微分干渉観察での高コントラストを実現

    液晶ディスプレイ製造における検査工程での微分干渉観察では、高コントラストの観察画像が要求されます。対物レンズに高性能反射防止膜を施し、レンズ面も迷光を低減する形状を採用。さらに鏡筒部などの光路においてフレア対策を徹底し、新開発の高コントラストタイプ微分干渉装置を開発するなど、明るく高コントラストな観察像を実現しました。

  • 優れた操作性

    354×302ミリのステージストロークを備えた大型ボディでありながら、観察双眼部や操作部を最適配置し、新開発の大型ステージ微動ハンドルの位置固定機構を採用するなど安全で快適な操作性を実現。またCAE解析を駆使し、剛性、耐振性を大幅に向上しました。低倍率から高倍観察まで像ブレが少なく、快適で安定した観察が行えます。

  • 最大17インチパネルに対応

    従来機に比べ観察可能範囲を拡大し、大口径300ミリウェハへの対応、また最大17インチの液晶パネルの透過照明観察が可能です。

  • ESD対応

    顕微鏡ボディのみならず、観察鏡筒、ステージなど手やサンプルに触れる部分すべてに静電気を速やかに放電するESD（Electro Static Discharge：帯電防止機能）対応を施し、ゴミの付着や試料の破損を防ぎます。

主な仕様

鏡基 12V100W調光用電源、電動部制御用電源内蔵
  • 焦準部　ストローク29mm
  • 粗動　12.7mm/1回転（トルク調節、再焦準機構付）
  • 微動　0.1mm/1回転（1μm/1目）
  • 制御部　レボルバ回転、ランプ調光、開口絞り開閉
    反射/透過照明切換え（L300Dのみ）
  • レボルバ　6ケ孔電動ユニバーサルレボルバ
    （ 芯出し機構、微分干渉装置挿入スロット付）
反射照明部 12V100Wハロゲンランプ照明装置
電動開口絞り（芯出し可）
視野絞り（固定、フォーカスターゲット付）
φ25mmフィルタ（NCB11、ND16、ND4）挿入可
ポラライザ/アナライザ挿入可
透過照明部
（L300Dのみ）		 12V100Wハロゲンランプ照明装置
開口絞り内蔵
φ45mmフィルタ（NCB11、NDA、NDB）挿入可
LWDコンデンサ内蔵（上下動機構付）
ポラライザ挿入可
鏡筒 L2-TT2超広視野正立傾角三眼鏡筒（俯角0～30°）
　視野数25、光路切換比100:0/20:80
L2-TT超広視野正立傾角三眼鏡筒（俯角0～30°）
　視野数25、光路切換比100:0/0:100
YM-TI2正立三眼鏡筒
　視野数25、光路切換比100:0/0:100
ステージ 14×12ステージ：ストローク354×302mm
（透過照明観察可能範囲：354×268mm）
粗微動切換え機構付、微動ハンドル位置固定
接眼レンズ CFI接眼レンズシリーズ
対物レンズ CFI60システム対物レンズシリーズ
消費電力 2.4A/100W
寸法 約360（W）×613（H）×954（D）mm（俯角10°時）
質量（重さ） 約64kg
関連リンク
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