ラインアップを充実、高速・高精度自動測定を行う画像測定機ニコンCNC画像測定システム
「NEXIV VMR シリーズ」、「NEXIV VMR TZ シリーズ」の販売開始について

販売概要

開発の背景

非接触で電子部品の自動測定を行う「NEXIVシリーズ」は測定機分野における主力機種であり、95年に市場に投入して以来、順次ラインアップを強化。お客様から高い評価を得てきました。基本性能の向上はもちろんのこと、さまざまな測定要求に対応し、かつ業務の効率化を図ることができる、より付加価値の高い商品を求める声が高まっています。

今回発売する超高精度タイプの「VMR-H3030」は、精密測定のマスター機として、また超高精度金型測定用に、大ストロークタイプの「VMR-10080」は、基板用印刷マスク・マザー基板用、高倍率タイプの「VMR TZシリーズ」は、高密度基板、MEMS（Micro Electro Mechanical System）や有機EL（Electroluminescence）の測定用、といった多様なニーズに対応することが可能になりました。

「NEXIV VMRシリーズ」「NEXIV VMR TZシリーズ」のラインアップは、充実の全8機種となり、微細化、高精度化する市場のニーズに応え、さらなるシェアの向上を図ります。

主な特長

• VMRシリーズ
  • 広視野、高N.A.の対物レンズを搭載

    高性能顕微鏡に匹敵する高N.A.（0.35）、低ディストーションの対物レンズは、全倍率範囲で50mmの長作動距離を実現。さらに高精度な画面内精度を実現。 　倍率範囲の異なる3タイプのNEXIVのすべてに対応し、低倍観察時の広視野、高倍観察時の高精度のどちらのニーズにも対応できます。

  • 長作動距離のTTLレーザAFを標準装備

    高分解能、長作動距離の高速TTLレーザAF機構を搭載。低倍観察でも段差のある狭部へシャープにオートフォーカスでき、表面形状に依存しない高速AFを実現。

  • スループットの向上

    駆動最高速度300mm/s（VMR-10080）のステージに加え、制御、通信などの高速化と処理時間短縮により、高スループットを実現。

  • 基本操作から高度な測定まで、イージーオペレーション

    操作画面のウィンドウ構成をカスタマイズすることができ、測定手順を分かりやすく表示する「測定ウィザード」機能や稼動実績をベースに作成した「オンラインヘルプ」機能を搭載するなど、測定者の使用レベルにマッチした操作性を実現。

    • 「VMR-H3030」：高精度タイプ

      XYの測定精度U2xy=0.9+3.0L/1000μm^※を実現。
      精密測定のマスター機として、精密金型測定用に最適です。

      • ※Lは、任意の測定長(単位：mm)
    • 「VMR-10080」：大ストロークタイプ

      1000mm×800mmの大ストロークで高精度測定を実現。
      基板用印刷マスク、マザーマスクといった大きな被検物で威力を発揮します。

• VMR TZシリーズ
  • 新開発、1～120倍の超高変倍ヘッド（TZタイプ）

    高倍率/低倍率の2つの対物レンズを搭載し、光学倍率1～120倍（8段階）の超高変倍比を実現した高倍率ヘッドを新開発。全倍率での優れたテレセントリシティと低ディストーション、高倍ならではの高い画面内繰り返し精度を実現しました。

  • 広視野、高N.A.の2つの対物レンズを搭載

    高倍率高性能顕微鏡に匹敵する高N.A.（0.55）の対物レンズを搭載。 低倍対物による広視野な測定と、高倍対物による微小寸法測定を両立し幅広いニーズに対応します。

  • 高精度TTLレーザAF

    高N.A.対物レンズによる、微小スポットの高分解能TTLレーザAF機構を搭載。より微細な表面形状の測定に対応します。