φ300mm ウェハ、90nm リソグラフィ工程に対応ニコン重ね合わせ測定機「NRM-3100」の販売開始について

販売概要

開発の背景

NRM（Nikon Registration Measurement System）は、"専用光学系を搭載した光学顕微鏡" に "CCDカメラ" と "画像処理コンピュータ" を搭載した測定・検査装置です。

現在主流である128M DRAMの場合、回路パターンの原版にあたるレチクルを次々に取り換えながらステッパーで露光を繰り返し、20層を超える回路パターンを積み重ねていきます。

NRMはその回路パターンの重ね合わせのズレ量を測定。またわずかなズレを検知し、やがて許容範囲内を超えることが予想される場合などステッパーに警告を送信する機能も兼ね備えています。さらにステッパーそのもののフォーカスを高精度・高速で測定することができるため、測定・検査装置の枠を飛び越え、ステッパーの生産性や稼働率の向上にも大きく寄与し、最先端デバイスのリソグラフィプロセスの管理を支援します。

今回発表する「NRM-3100」は、φ300mm ウェハ、90nm（ナノメートル）リソグラフィ工程に対応するとともに、クラス最速のスループット：150枚/時（5点/ウェハ）を実現しました。しかも、高段差・低段差・メタルなど、下地レイヤの特性に伴うスループット差はほとんどありません。

半導体リソグラフィ分野での豊富な実績とノウハウを集約し、好評を博している「NRM-1000/1000A/3000」シリーズの性能を継承し、高精度を実現するとともに、ウェハのない状態でレシピの作成を可能とするなど、優れた操作性を有しています。

あわせて、半導体の高集積化にともないますます重視される露光装置の精度・収差について、計測・解析するためのアプリケーションも充実しました。

主な特長

• 高精度（90nm リソグラフィ対応）

  「NRM」シリーズで培った高精度光学系をベースに、対物レンズも専用設計。新しい収差管理の適用により、一層の低収差を実現しました。また、ニコン独自の高 S/N、高ダイナミックレンジ撮像系を採用、新型 CCD カメラを搭載するなど、さらなる高精度を実現しています。

• 高スループット

  アクティブ除振台と新ステージ制御方式の採用で、ステージ位置決め時間を大幅に短縮。さらに多軸ロボット・リニアモーター方式の交換アームにより、ウェハ交換時間を短縮。これらにより、クラス最速の高スループットを達成しています。

• 優れた操作性

  ステッパーのアライメントマークなど、特徴を持つパターンを自動認識することによりウェハのない状態でレシピの作成が可能。最適化されたレシピを簡単に短時間で作成できます。これによって多品種少量生産にも、より柔軟に対応可能です。

• 柔軟なレイアウト

  操作部の独立化により、自由な設置レイアウトを可能にしました。

• レシピ管理システム

  レシピエディタ・レシピサーバをネットワークに接続することで、装置から離れた場所でレシピの作成・保管・変更・分配等の管理業務をおこなえます。また、測定データ・解析データの管理も可能になりました。