高精細ディスプレイ製造に最適なステッパー方式ニコン 液晶ディスプレイ用露光装置 FX-801Mの販売開始について
2002年10月28日
株式会社ニコン（社長：嶋村 輝郎）は、「液晶ディスプレイ用露光装置 FX-801M」を開発。平成14年12月から販売を開始する予定です。
「FX-801M」は、大型マスクに比べ製造誤差が小さく、また低コストの 6 インチ角レチクルを回路原版に採用。そのパターンをステッパー方式で露光を繰り返しながら、ガラスプレート全面に転写をおこなうものです。
低温ポリシリコンなど、より高精細な液晶ディスプレイ（LCD）製造や多品種生産に最適なコストパフォーマンスに優れた液晶ディスプレイ用露光装置です。
従来モデルの解像度を確保しながら、対応プレートサイズの拡大を実現。
さらなる効率的な量産を実現し、その生産性の向上に貢献します。
販売概要
| 商品名 | ニコン 液晶ディスプレイ用露光装置 FX-801M |
|---|---|
| 価格 | 5.75 億円（仕様により異なります） |
| 販売開始日 | 平成14年12月 |
| 販売予定数 | 初年度10台 |
開発の背景
ノートパソコン用ディスプレイとして市場を確立してきた TFT（Thin Film Transistor）方式アクティブマトリクスカラー LCD は、デスクトップ型パソコンのモニタやテレビモニタにも採用され、市場は急速に拡大しています。2001年の世界の LCD 市場は 2 兆円を超え、そのうち TFT 方式は、7 割以上を占めています。「より鮮明な画像、より自然な動画像を」という需要はとどまることなく、携帯電話やカーナビゲーションの画面でも動画機能が一般的になっています。高機能な TFT 液晶ディスプレイに用いられるデバイスは、アモルファス（非結晶）シリコンに比べ電子の移動速度が約100倍で反応速度に優れた低温ポリ（多結晶）シリコンに移りつつあります。
「FX-801M」は、対応プレートサイズを 730mm×920mm に拡大しながら、ステッパー方式と半導体製造でも用いられているレチクルを採用することで、優れた解像度、重ね合わせ精度を実現。中・小型パネルの生産ラインにおいて、コストパフォーマンスに優れた高精度でフレキシブルな生産を可能にします。
また、低温ポリシリコン TFT 製造工程におけるミックス&マッチの観点からも、対応プレートサイズを共通とし、より高機能な制御用（ドライバー）ICも同時に転写できる、「FX-702J」（解像度：1.5 マイクロメートル）の後継機種も開発中です。
主な特長
- ステッパー方式で大型プレートに対応
730mm×920mm クラス（従来機種：600mm×720mm）の大型プレートサイズに対応。
これにより 2 型パネルを 1 プレートから294面、4 型パネルであれば84面取りが可能です。 - 高精度な液晶ディスプレイ製造を実現
高精度な液晶ディスプレイ製造には欠かせない、6 インチレチクルを採用。
半導体製造でも用いられるレチクルの採用により、レチクル製造時のパターニング誤差を小さく抑えられ、さらにアライメント精度でも 0.4 マイクロメートル以下を実現しました。 - 優れたコストパフォーマンス
レチクルの採用は、高精度な露光を行えるだけではなく、低コストなため多品種生産に最適です。優れたコストパフォーマンス性能を発揮します。
また、レチクルライブラリは、オプションにより最大44枚まで対応します。
主な仕様
| 解像度（L/S） | 3μm |
|---|---|
| 露光範囲 | 132mm×132mm |
| 露光波長 | g 線（436nm）+ h 線（405nm） |
| 投影倍率 | 1.25 倍 |
| アライメント精度 | 0.40μm（3σ）以下 |
| 最大プレートサイズ | 730mm×920mm |
| レチクルサイズ | 6 インチ |
| タクトタイム（30mJ/cm2） | 89秒（42ショット） |
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