マルチレンズ投影光学系搭載の第5、6世代機ニコン液晶ディスプレイ用露光装置 FX-51S/61Sの販売開始について

販売概要

開発の背景

ノートパソコン用ディスプレイとして市場を確立してきたTFT（Thin Film Transistor）方式アクティブマトリクスカラーLCDは、デスクトップ型パソコンのモニタやテレビモニタにも採用され、市場は急速に拡大しています。2001年の世界のLCD市場は2兆円を超え、そのうちTFT方式は、7割以上を占めています。
「ニコン液晶ディスプレイ用露光装置 FX-51S/61S」は、第5、6世代のプレートサイズに対応し、30型以上のワイドクラスパネル（画面比16：9）の効率的な量産を可能にしました。「FX-61S」の対応プレートサイズ（1400mm×1700mm以上）は、世界最大です。
また、モニタサイズの大型化が急速に進む中で、カラーフィルタ製造においても大型・高精細化が求められています。専用アライメント機構（オプション）の搭載により、2機種ともカラーフィルタ製造に対応。カラーフィルタ形成プロセスにおけるミックス&マッチの効率化に貢献します。
「FX-51S/61S」の販売開始により、大型プレートサイズ用、カラーフィルタ用、低温ポリシリコン用とラインアップを拡充し、パネルメーカーからの多様なニーズにお応えします。

主な特長

• 新開発マルチレンズ投影光学系^※を搭載

  7本の投影レンズで構成された新開発のマルチレンズ投影光学系を搭載。一度の走査露光で36型ワイド（16：9）や40型（4：3）までのディスプレイを焼き付けることができます。

  • ※マルチレンズ投影光学系：
    高精細な大型液晶ディスプレイの製造を高い生産性で実現。将来、さらなるプレートサイズの拡大にも投影レンズの本数を増やすことで対応が可能となり、次世代機開発でのアドバンテージとなる。
• カラーフィルタ製造に対応

  専用アライメント機構（オプション）の搭載により、大型・高精細化が要求されるカラーフィルタ製造にも対応します。

• 露光範囲の拡大によりスループットを飛躍的に向上

  FX-51S（1200mm×1300mmの場合)：毎時832枚（15型パネル）、毎時624枚（17,18型パネル）、
  FX-61S（1400mm×1700mmの場合)：毎時408枚（30型ワイドパネル）、毎時204枚（36型ワイドパネル）

• 大型プレート対応

  第5、6世代サイズの大型プレートサイズに対応。1枚のガラスプレートから最大、下記の通りのパネル数を取ることが可能です。
  FX-51S（1200mm×1300mmの場合)：16面（15型パネル）、12面（17,18型パネル）
  FX-61S（1400mm×1700mmの場合)：8面（30型ワイドパネル）、4面（36型ワイドパネル）

• 広い露光範囲と高解像度の両立を実現

  マルチレンズ投影光学系の搭載で広い露光範囲を確保しながらも、従来から定評のあるステッパー方式の露光装置と同様に、3マイクロメートル以下（L/S時）の高解像度を維持しています。さらなるLCDの高精細化にも十分対応可能です。

主な仕様