高速・高精度な自動測定が可能ニコンCNC画像測定システム「NEXIV（ネクシブ）VMR」シリーズを6月1日発売

2001年4月23日


NEXIV VMR-3020

株式会社ニコン（社長：吉田 庄一郎）は、プリント基板、IC パッケージ、外部記憶装置など、電子部品や精密部品の高精度な測定に対応する CNC 画像測定システム、 ニコン CNC 画像測定システム「NEXIV VMR-3020」（価格 910 万円(消費税別)～(価格はオプションにより異なります)）、ニコン CNC 画像測定システム「NEXIV VMR-6555」（価格 1,420 万円(消費税別)～ (価格はオプションにより異なります)）を、平成13(2001)年6月1日より発売いたします。

開発の背景

「CNC 画像測定システム」は、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて各種精密機器・電子部品等の被検物（ワーク）の寸法・形状を、高精度に自動測定・検査する装置です。CCD カメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを検出、データ処理し、複雑な測定を高精度でおこないます。

ニコンでは、平成7(1995)年1月にCNC 画像測定システム「NEXIV（Nikon EXcellent Intelligent Vision system）VM-250」を発売以来、商品ラインナップを順次強化、ユーザーからの高い評価を得てまいりました。

今回販売を開始する「NEXIV VMR」シリーズは、50 mm の長い作動距離（W.D.）と、高性能顕微鏡に匹敵する高 N.A.※1を両立した新設計対物レンズを搭載し、5 段階15倍ズームで低倍率から高倍率までの倍率に応じた最適な測定を可能にしました。また、最高駆動速度 300 mm / 秒※2のステージに加え、サンプリング、信号処理、制御など動作の高速化と処理時間の短縮で、トータル・スループットを現行の「NEXIV シリーズ」の約 2 倍以上と大幅に向上しました。

  • 注※1「N.A.」：「Numerical Aperture（開口数）」の略、光学系の明るさを表す指標のひとつ。数値が大きいほど（＝N.A.が高いほど）解像度は高い。
  • 注※2「300 mm / 秒」：「VMR-6555」のステージ駆動最高速度。 「VMR-3020」のそれは 150 mm / 秒 。

主な特長

  • スループットを大幅に向上

    駆動最高速度300mm/s のステージ※2に加え、サンプリング、信号処理、制御など動作の高速化と処理時間の短縮で、トータル・スループットを現行機種の約 2 倍以上と大幅に向上。

  • 高精度化とU2 精度※3保証を実現

    最新のシミュレーション技術による最適設計で、測定精度は「VMR-6555」、「VMR-3020」ともに現行機種よりも向上。なおかつ U2 精度を標準で保証。

  • 新設計光学系とTTL レーザAF を標準装備

    新設計の光学系は、50 mm の長い作動距離（W.D.）を保ちながら、15 倍の高変倍ズームで "低倍時の広い視野～高倍率の高解像度精密測定" を可能に。また、新開発の長作動距離 TTL レーザAF（クラス3Aレーザ製品）は、サンプル/ワーク（被検物）の制約なく高速、高精度な高さ（Z 軸）測定も可能。

  • 基本操作から高度な操作までの習得が簡単

    操作画面のウィンドウ構成は、ユーザーに合わせてカスタマイズでき、作成したウィンドウ構成は、5 種類まで登録が可能。測定手順をわかりやすく指示する「測定ウィザード」、稼動実績をベースに作成した「オンラインヘルプ」機能などを搭載。測定ノウハウを含む適切なアドバイスでユーザーをサポート。

  • 測定目的に合わせたソフトウェアを標準装備

    通常の幾何寸法測定では評価できない被検物の二次元輪郭形状を測定・評価する「形状測定」機能、図面（または加工）データを利用して測定手順を指示できる「オフラインティーチング」機能を標準装備。被検物の表面を測定して鳥瞰図・等高線表示などをおこなう「表面形状プログラム」※4など、測定をサポートするさまざまなソフトウェアをオプションで用意。

  • 注※3「U2 精度」：検定用基準スケールをステージ上の対角方向において測定した場合の精度。
  • 注※4「表面形状プログラム」：オプション。「表面形状プログラム」の動作には、OriginLab 社の「ORIGIN Ver.6.1」が必要です。

主な仕様

 VMR-3020VMR-6555
本体部 ストローク(X ×Y ×Z) 300×200×150 mm 650×550×150 mm
最小表示単位 0.1 μm
被検物最大質量 20 kg 30 kg
測定精度 U1X、1Y 1.5+4L / 1,000 μm(被検物質量 5 kg 時) 1.5+2.5L / 1,000 μm(被検物質量 30 kg 時)
測定精度 U2XY 2.5+4L / 1,000 μm(被検物質量 5 kg 時) 2.5+2.5L / 1,000 μm(被検物質量 30 kg 時)
Z 軸指示精度 1.5+L / 150 μm
カメラ 白黒 1/3 型 CCD(プログレッシブスキャン)、カラー 1/3 型 CCD
倍率 / 視野 タイプ1 ： 0.5 ～7.5× / 9.33×7 ～0.622×0.467 mm
タイプ2 ： 1 ～15× / 4.67×3.5～0.311×0.233 mm
タイプ3 ： 2 ～30× / 2.33×1.75～0.155×0.117 mm
オートフォーカス TTL レーザ AF※ / イメージ AF
照明 透過、垂直落射、8 分割 LED リング照明（中入射角/大入射角）
供給電源 100V AC +/-10%、50/60 Hz
消費電源 最大 7 A 最大 9 A
寸法(W×D×H)・質量(約) 本体：500×690×1,195 mm ;160 kg -
本体＋測定台：690×730×1,725 mm ;200 kg 本体＋測定台：1,220×1,680×1,750 mm ;600 kg
コントローラ：250×550×500 mm ; 20 kg
設置寸法 (W×D) 2,100×1,100 mm 2,400×2,000 mm
ホストコンピュータ 本体 IBM PC/AT 互換機（Windows2000）
CRT 19型カラー
関連リンク
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