φ300mmウェハ対応・クラス最速のスループットニコン 重ね合わせ測定機 NRM-3000を12月10日発売

2001年12月4日

株式会社ニコン（社長：嶋村 輝郎）は、φ300mm ウェハに対応し、最先端デバイスのプロセス管理を支援する重ね合わせ測定機 ニコン重ね合わせ測定機 NRM-3000（価格 1 億 2,000 万 円 ～ (消費税別)）（価格は仕様により異なります）を、2001年12月10日に発売いたします。

なお、本商品は、「セミコン・ジャパン2001」（12月5日(水)～7日(金)、於：日本コンベンションセンター(幕張メッセ)）のニコンブース（ホール 3-A902）にて、パネル展示をいたします。

開発の背景

本商品は、ステッパー、スキャナー（レンズスキャニング方式ステッパー）等の露光装置で焼き付けたウェハについて、オーバーレイレジストレーションのみならず、フォーカスを高精度・高速で測定し、最先端デバイスのリソグラフィプロセスの管理を支援する測定機です。

ウェハサイズ φ300mm に対応するとともに、クラス最速のスループット：150枚/時（5点/ウェハ）を実現いたしました。しかも、高段差・低段差・メタルなど、下地レイヤの特性に伴うスループット差はほとんどありません。

半導体リソグラフィ分野での豊富な実績とノウハウを集約し、好評を博している NRM-1000 / 1000A シリーズの性能を継承し、高精度を実現するとともに、ウェハのない状態でもレシピの作成を可能とするなど、優れた操作性を有しています。あわせて、半導体の高集積化に伴いますます重視される露光装置の精度・収差について、計測・解析するためのアプリケーションも充実いたしました。

主な特長

  • 高精度

    NRM（Nikon Registration Measurement System）シリーズが培ってきた高精度光学系をベースに、対物レンズも専用設計。新しい収差管理の適用により、一層の低収差を実現。また、ニコン独自の高 S/N、ワイドダイナミックレンジ撮像系を採用し、高精度を実現。

  • 高スループット

    アクティブ除振台と新ステージ制御方式の採用で、ステージ位置決め時間を大幅に短縮。さらに、多軸ロボット・リニアモータ方式の交換アームにより、ウェハ交換時間を短縮。これらによって、クラス最速の高スループットを達成。

  • 優れた操作性

    ステッパーのアライメントマークなど、ウェハ上の特徴を持つパターンを自動認識し、ステージ上にウェハを置かない状態（ウェハレス）でレシピの作成が可能。最適化したレシピを簡単に短時間で作成でき、多品種少量生産にもより柔軟に対応可能。

  • 柔軟なレイアウト

    操作部の独立化により、より自由な設置レイアウトを可能に。

  • レシピ管理システム（オプション）

    レシピエディタ・レシピサーバをネットワークに接続すれば、NRM-3000 から離れた場所でレシピの作成・保管・変更・分配等の管理業務を実行可能。また、測定データ・解析データの管理も可能。

主な仕様

測定マーク Boxマーク、Barマーク、Frameマーク、SMP マーク（オプション）
ウェハサイズ φ300mm、φ200mm（オプション）
測定再現性 2 nm 以下（3σ）
スループット 150枚 / 時 以上（5 点 / ウェハ）
寸法（W×D×H）(約) 本体 1,269×2,035×2,000 mm
制御ラック 650×840×1,610 mm
質量(約) 本体 1,200 kg
制御ラック 150 kg
関連リンク
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