ニコンと東京エレクトロンが露光装置と塗布現像装置の評価設備の共用について合意

2000年11月30日

株式会社ニコン（東京都千代田区 社長：吉田 庄一郎）は、東京エレクトロン株式会社（東京都港区 社長：東 哲郎（ひがし てつろう）氏）と、露光装置と塗布現像装置の評価設備の共用について合意いたしました。

これによりニコンは、レンズスキャン型 ArF エキシマステッパー「ニコン縮小投影型露光装置 NSR-S305B」を、東京エレクトロンの子会社で塗布現像装置の開発・製造をおこなっている東京エレクトロン九州株式会社（佐賀県鳥栖市、社長：山城 恵（やましろ めぐみ）氏）の合志事業所（熊本県合志町）内に新設されるクリーンルームに設置し、東京エレクトロン製の φ300mm 対応塗布現像装置「CLEAN TRACK（クリーントラック）ACT 12 」とともに使用することが可能となりました。また、東京エレクトロンは、ニコン熊谷製作所（埼玉県熊谷市）内のクリーンルームに、「クリーントラック ACT 12」を設置し、レンズスキャン型 KrF エキシマステッパー「NSR-S205C」と接続した環境での使用を実現いたしました。

今回の合意は、"半導体メーカー各社が微細化を推し進める中、製造装置メーカーとしても的確に対応していく必要がある" との認識に基き、"両社の専門知識と最新の設備を共有し、短期間でのプロセス立ち上げなどの高度かつ包括的なサポートを迅速に提供していくこと" を目的としています。

設備の共用は平成13(2001)年度から開始し、常に最新の設備を提供し合う予定です。また、フォトリソグラフィプロセスにおける重要な要素であるレジスト材料のメーカーにも参加を呼びかけ、ユーザーの立場に立った評価や問題解決に取り組んでまいります。今後も、より包括的なユーザーサポートを実現するため、他の製造装置メーカーとも同様の関係を構築することを検討してまいります。

  • 「CLEAN TRACKTM」および「CLEAN TRACK ACTTM」は、東京エレクトロン株式会社の商標です。その他、記載の会社名、製品名は、各社の商標、登録商標です。
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