半導体、磁気ヘッド、液晶、フィルムなどの検査を強力にサポートニコン工業用顕微鏡「ECLIPSE ME600L」を平成13(2001)年1月5日発売
2000年12月1日
株式会社ニコン（社長：吉田 庄一郎）は、光学系にフレアが極めて少なく高いコントラストの顕微鏡像を得られる無限遠補正光学系 CFI60 システムを採用し、半導体、磁気ヘッド、液晶、フィルムなどの検査に適した反射 / 透過照明タイプの工業用顕微鏡、ニコン工業用顕微鏡「ECLIPSE（エクリプス） ME600L」（価格 1,136,000 円 ～(消費税別)）（価格はセット内容により異なります）を開発、平成13(2001)年1月5日より販売を開始いたします。
なお、「ECLIPSE L200A」 は「セミコン・ジャパン2000」（12月6日(水)～8日(金)、於：日本コンベンションセンター(幕張メッセ)）のニコン・ブース＜Hall 10. ; Booth No. 10-B501＞に出展を予定しております。
開発の背景
「ECLIPSE（エクリプス） ME600L」は、反射 / 透過照明観察に対応し、半導体、磁気ヘッド、液晶、フィルムなどの検査に使用される工業用顕微鏡です。各種新材料や電子部品の開発が進む中、観察対象物は微細化し、工業用顕微鏡による観察はますます高度化、多様化しています。
今回販売を開始する工業用顕微鏡「ECLIPSE ME600L」は、こうした市場のニーズに対応するために開発したもので、平成10(1998)年の発売以来ユーザーの高い評価を得ている「ECLIPSE ME600D」の後継機種にあたります。
光学系には無限遠補正光学系 CFI60 システム※ を搭載し、新たに透過照明の可能な 150×100mm ステージを開発、プリント基板など大型被検物の観察といった汎用金属分野や半導体分野での検査に貢献します。
- ※「CFI60 システム」：
Chromatic Aberration Free Infinity System と対物レンズの同焦点距離 60 mm にちなんだ光学系の名称。対物レンズ、接眼レンズの倍率色収差をそれぞれ単独に補正するニコン独自のCF（Chromatic aberration Free）光学系と、中間鏡筒の拡張が可能になるなどシステム化の自由度が大きい無限遠補正（Infinity correction）光学系を融合させた理想的な光学系。さらに、対物レンズの同焦点距離（レボルバ胴付面から物体までの距離）を 60mm と長く設計したことで、対物レンズの前端から試料までの作動距離（W.D.）も広がり、誤って試料を傷つける心配等も減ってより快適な観察が可能。
主な特長
- 優れた光学性能
ニコン独自の無限遠補正光学系 CFI60 システムを搭載。対物レンズ面には高性能な反射防止膜を施し、高コントラストでクリアな像を得ることが可能。また、新開発の暗視野照明系は、従来機種に比べ平均して 3 倍程度の明るさを実現し、微細なキズ、段差などの暗視野観察での検出感度を高めています。
- 150mm×100mmステージを新開発
透過照明にも対応可能な 150×100mm ステージ（L-S64 6×4 ステージ）を新たに開発。プリント基板などの大型被検物の透過観察を実現しました。
- 12V100W ランプハウスを標準装備
鏡基に、十分な明るさも確保した 12V100W ランプハウスを標準装備。
- エルゴノミックな設計
サンプルと対物レンズの干渉を防ぐ再焦準機構、暗視野への切り換えと連動する絞り開放機能、ステージハンドルの操作も微動操作もそれぞれ片手でできる.......など、さまざまな工夫を施しております。
主な仕様
| 本体 | 鏡基 | T 字型、ベースレスタイプ 12V100W 調光用電源内蔵、切り換えスイッチ付き 試料最大高さ39mm |
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| 焦準機構 | 一軸粗微動ハンドル（左：粗微動、右：微動） ストローク 25 mm、 粗動 12.7 mm /1 回転（トルク調節、再焦準機構付き） 微動 0.1 mm / 1 回転（1 μm / 1 目） |
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| 照明 | 反射 照明部 |
12V100W ハロゲンランプ照明装置 開口絞り、視野絞り（心出し可）、 明 / 暗視野の切り換えと連動の開口 / 視野絞り、 φ25mm フィルタ（NCB11、ND4、ND16）を 4 枚まで挿入可能、 ポラライザ / アナライザ挿入可、 ESD 対応 |
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| 透過 照明部 |
12V100W プリセンタランプハウス、 フィルタ内蔵（NCB11、ND8、ND32、ディフューザ）、 フォトスイッチ有り |
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| 鏡筒 | Y-TB 双眼鏡筒（視野数22 ）、 Y-TF・TT 三眼鏡筒（視野数22/25 ）、 YM-TI2 正立三眼鏡筒（視野数22/25 、ESD 対応）、 Y-YEX 双眼エルゴ鏡筒（視野数22 ） |
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| 接眼レンズ | CFI 接眼レンズシリーズ | ||
| レボルバ | C-N6 レボルバ、 BD5 レボルバ（ESD 対応、閃光防止機構付き）、 U5 レボルバ（ESD 対応、閃光防止機構付き）、 U5A レボルバ/電動（オプション、コントローラが別途必要） |
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| 対物レンズ | CFI60 システム対物レンズシリーズ | ||
| ステージ | Y-SR2 垂直ハンドルメカニカルステージ、 L-S64 6×4 ステージ（3 枚板） |
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| 微分干渉装置 | シングルプリズム・スライド式、瞳位置補正2ヶ所 | ||
| 寸法(W×D×H)（約） | 280×581×540 mm | ||
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