自動化によるウェハ検査の標準化 & 多彩なシステム拡張性を実現ニコンLSI検査自動化顕微鏡「ECLIPSE L200A」を平成12(2000)年11月1日発売

2000年10月30日

株式会社ニコン（社長：吉田 庄一郎）は、高集積化する半導体デバイスに対応するため、主要操作を電動化して最適な観察条件を自動的に再現できる、LSI 検査自動化顕微鏡「ECLIPSE（エクリプス） L200A」（価格 2,850,500 円(消費税別)～価格はセット内容により異なります）を開発、平成12(2000)年11月1日より販売を開始いたします。

なお、本商品は「セミコン・ジャパン2000」（12月6日(水)～8日(金)、於：日本コンベンションセンター(幕張メッセ)）のニコン・ブース＜Hall 3. ; Booth No. 3-A902＞に出展を予定しております。

開発の背景

本商品は、半導体製造工程において、主にウェハの外観検査に使用される金属顕微鏡です。高集積化の一途をたどる半導体デバイスの外観検査工程においては、1.）観察条件の自動再現、そして 2.）操作の電動化による検査の標準化が、LSI 検査顕微鏡に対して要望されています。

今回販売を開始する LSI 検査自動化顕微鏡「ECLIPSE L200A」は、こうした市場からのニーズに対応するために開発したもので、今年 3 月に発売した LSI 検査顕微鏡「ECLIPSE L200」の各種操作を電動化・自動化したモデルであり、その上位機種にあたります。

主な特長

  • 自動化による検査の標準化の実現

    使用する対物レンズ毎の最適なフォーカス位置、開口絞り、明るさ、微分干渉観察（オプション）の際の最適なコントラスト位置などの検鏡条件をレシピとして登録でき、再現が可能。これにより、検査作業者による誤操作や検査のばらつきなどの人的誤差が軽減でき、検査の標準化が実現できます。

  • 優れた光学性能&作動距離が長く使い易い対物レンズ

    ニコン独自の新しい規格を採用した無限遠補正光学系 CFI60 システムを搭載して、対物レンズのN.A.（開口数）を確保しつつ、さらに長い作動距離（W.D.）を実現。対物レンズ面には高性能な反射防止膜を施し、高コントラストでクリアな像を得ることが可能。また、新開発の暗視野照明系は、当社従来機種に比べ平均して 3 倍程度の明るさを実現。

  • 送り量25nmピッチの電動フォーカス

    上下動部に送り量 25 nm（ナノメートル） ピッチの電動フォーカスを標準装備し、高倍率時のマニュアル操作でのピント合わせをよりスムーズにおこなうことができます。また、対物レンズ切換に伴うフォーカスのズレをあらかじめティーチングしておくことで対物レンズ毎の自動焦点補正が可能な ALF（Auto Link Focusing system）を搭載。

  • コンタミネーション対策を強化

    観察に関わる主要操作をリモートコントローラから電動で制御可能。また、帯電防止コーティングをボディに採用するなど、コンタミネーション抑制に配慮。

  • 快適な操作環境

    観察双眼部を手前に配して、ステージ微動ハンドル位置を固定化し、リモートコントローラの各種スイッチを最適配置するなど、エルゴノミクス（人間工学）の観点からより高い操作性を追求し、より快適な操作環境を実現。また、SEMIスタンダード（S2-93A、S8-95）※1 にも適合しています。

  • 高剛性・高耐振構造

    設計段階からコンピュータによる構造解析（CAE）を用い、新たに像ブレ量を定量化したことにより、剛性、耐振性を大幅に向上。高倍率観察時にもブレのない像が得られ、安定した観察が可能。

  • 優れた拡張性・オプション

    RS-232C インターフェースによる接続で外部制御を可能に。電動ステージ、ウェハローダ「NWL860」シリーズなどとの組合せにより、ウェハ検査システムの構築が可能。その他、高速・高精度オートフォーカス、電動制御可能な微分干渉ユニットなどをオプションで用意。

  • ※1SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が定めた半導体製造装置の安全性 / 人間工学に基づくエンジニアリングに対するガイドライン。

主な仕様

ECLIPSE L200A
鏡基 本体部 焦準機構 電動上下動、ストローク29 mm、速度 2 段階
対物レンズ毎の同焦点補正（ALF：Auto Link Focusing System）
制御部 制御用リモートコントローラ（付属）を外置き、
レボルバ回転、開口絞り開閉（連続可変）、ランプ電圧自動調光、観察法光路切換
電源 12V100W 調光用電源、各電動部制御用電源内蔵
照明 反射
照明部		 12V100W LL（ロングライフ）ハロゲンランプ照明装置（本体部内蔵）、
電動開口絞り（対物レンズに連動、連続可変、芯出し可能）、
視野絞り（固定・フォーカスターゲット付）、
観察法光路電動切換、
φ25mmフィルタ（NCB、ND2、ND4）を 4 枚まで挿入可能、
ポラライザ / アナライザ挿入可能、
ピンホールスライダ（オプション）挿入可能
鏡筒 超広視野正立傾角三眼鏡筒（俯角 0 ～30度）
視野数φ25、
光路切換 2 Way（双眼 100：0 直筒 / 双眼 0：100 直筒）
接眼レンズ CFI 接眼レンズシリーズ
レボルバ 電動 6 ヶ孔芯出しレボルバ
対物レンズ CFI60 LU PLAN シリーズ、
CFI60 LU PLAN APO シリーズ
ステージ 8× 8ステージ
ストローク：205×205 mm、
粗微動切換機構付、
微動ハンドル位置固定
寸法(W×D×H)(約) 鏡体：360×815×612 mm（鏡筒俯角10度にて）
リモートコントローラ：220×170×50 mm
オプション 電動微分干渉（DIC）ユニット、オートフォーカスユニット、電動ステージなど
関連リンク
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