高スループットで、モニタ用高精細LCDの生産性向上に貢献ニコン「液晶ディスプレイ用露光装置 FX-21S」を7月1日発売

開発の背景

ノートパソコン用のディスプレイとして市場を確立してきた TFT（T hin Film Transistor＝薄膜トランジスタ）方式アクティブマトリクスカラー LCD は、新たな応用分野として、デスクトップ型パソコンのモニタにも採用され始めています。また15(インチ)型クラスのパネルを利用したテレビモニタにも採用されるなど、液晶パネルによる大型の壁掛けテレビも視野に入れた開発が進んでおり、より大きな市場が形成されていくと予測されています。

今回受注を開始する「液晶ディスプレイ用露光装置 FX-21S」は、最大30(インチ)型ワイドパネルまでを容易に製造することも可能。今後需要の増加が予想される15～20(インチ)型パネル生産においては、弊社従来機比で飛躍的なスループット向上（15型パネルで約 1.7 倍、18型パネルで約 2.7 倍、21型パネルで 2.2 倍）を実現いたしました。「FX-21S」は、モニタ用大型パネルの製造において量産効果を発揮し、TFT 方式 LCD の更なる生産性向上に貢献いたします。

主な特長

• 新開発マルチレンズ投影光学系を搭載

  現在主流となっているステッパー（ステップ・アンド・リピート＝逐次移動露光）方式で露光・転写するのではなく、5 本の投影レンズで構成した新光学系を用いて、一度の走査露光で30型ワイドまでのディスプレイを焼き付けうる新しい露光方式機。

• スループットを飛躍的に向上

  露光範囲の拡大によりスループットの飛躍的向上を実現。15～18型パネルを毎時 330 枚以上、20型クラスの大型パネルでも毎時 210 枚以上の生産を可能に。

• 大型プレート対応

  SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が推奨する「第 4 期サイズ」の 800×950 mm2 の大型プレートサイズに対応。これによって、 1 枚のガラスプレートから15～18型パネルを最多で 6 面、22型パネルを 4 面取ることが可能。また30型ワイドまでの超大型ディスプレイの生産も可能。

• 広い露光範囲 & 高い解像度の両立を実現

  「マルチレンズ投影光学系」の搭載で、露光範囲を 400×700 mm と拡大しながらも、従来から定評のあるステッパー方式の露光装置と同様に、2.4 マイクロメートル以下（孤立パターン時）の高解像度を維持。更なる LCD の高精細化にも充分対応可能。

主な仕様