超高精度測定に対応 !ニコンCNC画像測定システム「NEXIV VMH-300N」を10月1日発売

開発の背景

CNC画像測定システムは、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて各種精密機器・電子部品等の被検物（ワーク）の寸法・形状を、高精度に自動測定・検査する装置です。CCD カメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを検出、データ処理して複雑な測定をおこないます。

製造業の生産技術の進歩により、品質管理・検査の高精度化と省力化が求められる中で、画像測定システムの市場の伸びは著しく、ニコンでも、1995(平成7)年1月にCNC画像測定システム「NEXIV（ネクシブ）VM-250」を市場に投入して以来、商品ラインアップを順次強化、お客さまからの高い評価を得てまいりました。

今回、発売を開始するCNC画像測定システム「NEXIV VMH-300N」は、測定誤差が 1μm 以下＜0.9 + L / 300μm (U2)＞^※1 と、同クラスの画像測定システムと比して最高水準の測定精度を実現。品質保証部門における各種測定精度の基準測定機として使用可能です。さらに、現行の「NEXIV」^※2 シリーズで好評を得ている光学系、オートフォーカス機能、画像処理機能、アプリケーションソフトなどさまざまな優れた機能も装備。より高水準な精度保証が求められる精密金型、磁気ヘッド、光ファイバー部品など各種精密電子部品の高精度自動測定を簡単におこなえます。

• ※1「U2 精度」：「U2 精度」とは、長さ L mm （＝L は任意の測定長：単位はmm）の基準スケールを、X 軸と Y 軸の対角線方向に置いて測った場合の測定誤差をあらわします。同じく測定精度を表すものとして「U1 精度」（長さ L mm の基準スケールを X 軸、Y 軸のいずれかに平行に置いて測った場合の測定精度）もあり、「U1 精度」であれば、測定誤差はさらに小さくなります。
• ※2「NEXIV」：「NEXIV」は、"Nikon EXcellent Intelligent Vision system" の略です。

主な特長

• 超高精度測定を実現

  CAE による構造解析を駆使し剛性を高めた新設計の高精度ボディ、低膨張で高分解能なスケールなどの採用で、同クラスの画像測定システムとしては最高水準の測定精度＜0.9 + L / 300μm (U2)＞を実現、品質保証部門における基準測定機として使用可能。さらに精密金型や各種精密電子部品などの超高精度測定に対応。

• 優れた光学系

  CNC 連動の 5 段階10×ズーム（3.75～37.5 倍）を搭載し、高精度測定のための高倍率を実現。　また、より広い視野を必要とする測定のために、低倍率機種（0.75～7.5 倍）も用意。

• 多彩な照明

  垂直落射、透過、TTL（Through The Lens）4 方向（前後左右）斜光照明、の計 6 系統のライティングを CNC 制御し、被検物のあらゆる形状に対応した測定に最適な照明を得ることが可能。

• 優れたオートフォーカス機能

  2 種類（フェースフォーカス、エッジフォーカス）の画像オートフォーカスに加え、オプションとして、高速で高精度な高さ測定が可能なレーザオートフォーカス^※3、複雑な断面形状も測定できる TTL レーザオートフォーカス^※3 を併用可能。用途に応じての選択が可能。

  • ※3：クラス3Bレーザ製品
• 優れた画像処理機能

  測定したいエッジのコントラストが低い場合や複数のエッジが存在する場合には、「カスタマーズエッジセレクト」機能により、複数のエッジ候補から任意のエッジを検出・選択することが可能、複雑な形状の測定にも対応。また、パターンマッチングを用いて被検物を探し出す「インテリジェントサーチ」機能により、被検物のセッティングのズレや形状のばらつきがある場合でも、測定エラーを出さずに自動測定を実行。

• 豊富なオプションソフトウェア群

  通常の幾何寸法測定では評価できない二次元輪郭形状を測定・評価する「形状測定」プログラム、表面を測定して鳥瞰図・等高線表示などをおこなう「表面形状」プログラム、図面データを利用して測定手順を指示できる「オフラインティーチング」プログラムなど、測定をサポートするさまざまなオプションソフトウェア群を用意。

主な仕様