無限遠補正光学系CFI60システムを搭載 !LSI検査顕微鏡「ECLIPSE L200 / L200D」を平成12(2000)年3月1日発売

1999年11月26日
増補（LSI検査自動化顕微鏡「ECLIPSE L200A」へのリンク）：2000年10月30日

株式会社ニコン（社長：吉田 庄一郎）は、新開発の無限遠補正光学系 CFI60 システムを搭載して高いコントラストの観察像を得ることができ、微細化の進む半導体デバイスに対応するとともに、より快適な操作環境を実現した LSI 検査顕微鏡、LSI 検査顕微鏡「ECLIPSE（エクリプス） L200」（価格1,836,000円(消費税別) ～）、LSI 検査顕微鏡「ECLIPSE L200D」（価格(消費税別) 1,989,000円(消費税別) ～）(共に標準セットの価格。価格はセット内容により異なります)）を開発、平成12(2000)年3月1日より販売いたします。

（写真は「ECLIPSE（エクリプス） L200」)

なお、本商品は「セミコン・ジャパン99」（平成11(1999)年12月1日(水)～3日(金)、於：日本コンベンションセンター(幕張メッセ)）に出展いたします。

開発の背景

LSI 検査顕微鏡は、半導体製造工程において、ウェハ、マスク、レチクルの外観検査に使用される金属顕微鏡です。半導体デバイスの高集積化が進む中で、外観検査用の顕微鏡についてもデザインルールの微細化に対応するための光学性能、そしてクリーンルーム内で長時間にわたることがある検鏡作業における操作性の向上が強く求められています。

今回発売を開始する LSI 検査顕微鏡「ECLIPSE L200 / L200D」は、こうした市場のニーズに対応するために商品化したもので、平成6(1994)年の発売以来お客さまの高い評価を得ている「OPTIPHOT（オプチフォト）200 / 200D」シリーズの後継機種にあたります。

新開発の無限遠補正光学系 CFI60 システム※1 を搭載、業界最高水準の光学性能で、コントラストが高い観察像を得ることが可能です。また、剛性・耐振性能を大幅に向上させています。さらにエルゴノミクス（人間工学）を随所に追究したデザインを採用するなど操作性を高め、快適な操作（検鏡）環境を実現しています。

「ECLIPSE L200」は、ウェハなど透過性のない試料の観察に使用する反射照明専用の機種です。「ECLIPSE L200D」は、マスク、レチクルなど透過性のある試料の観察に用いる透過（落射）照明にも対応した反射照明 / 透過照明両用の機種です。

  • ※1「CFI60 システム」：Chromatic Aberration Free Infinity System と対物レンズ同焦点距離 60mm にちなんだ光学系の名称。対物レンズ、接眼レンズの倍率色収差をそれぞれ単独に補正するニコン独自の CF（Chromatic aberration Free）光学系と、中間鏡筒の組み込みが容易であるなどシステム拡張性の自由度が大きい無限遠補正（Infinity correction）光学系を融合した理想的な光学系。

主な特長

  • 優れた光学性能

    ニコン独自の新しい規格を採用した無限遠補正光学系 CFI60 システムを搭載。対物レンズ面には高性能な反射防止膜を施し、高コントラストでクリアな像を得ることが可能。また、新開発の暗視野照明系は、従来機種比で平均して 3 倍程度の明るさを実現し、微細なキズ、段差などの暗視野観察での検出感度を向上。

  • 作動距離が長く操作性に優れた対物レンズ群

    対物レンズ同焦点距離 60mm ※2 という新規格を工業用顕微鏡に採用、N.A.（開口数）を確保しつつ、さらなる長作動距離を実現。高解像度での観察と高い操作性の両立を可能に。また、対物レンズ倍率変換時の同焦点性を向上し、観察視野内での像移動量も抑えました。

  • 高剛性・高耐振構造

    設計段階からコンピュータによる構造解析（C.A.E.）手法を用い、新たに像ブレ量を定量化し、従来機種比で剛性・耐振性を大幅に向上。高倍率観察時にもブレのない像が得られ、安定した観察が可能。

  • 快適な操作環境

    観察双眼鏡筒部を手前に配し操作部を最適配置。さらにステージ微動ハンドル位置を固定化（新開発）するなど、エルゴノミクスの観点からより高い操作性を追究、快適な操作環境を実現。SEMI 規格 S8-95 ※3 にも対応し、自然な姿勢で観察ができるので、長時間にわたる検鏡作業もより楽におこなえます。

  • 優れた拡張性

    ウェハローダ「NWL860」シリーズと組み合わせて使用することにより、より低価格でウェハ検査システムの構築が可能。

  • 帯電防止コーティングを採用

    帯電防止コーティングをボディ（鏡基）に施すなど、コンタミネーションにも配慮。

  • 環境に配慮したエコガラスを採用

    鉛、砒素を含まない「エコガラス」を対物レンズをはじめ各部に使用。

  • 優れたコストパフォーマンス

    さまざまな優れた機能を搭載しながら、従来機種に比べて10 % 程度低い価格を実現。非常にコストパフォーマンスに優れています。

  • ※2「同焦点距離 60mm」：対物レンズのレボルバ胴付面から物体までの距離を 60mm と長く設計（＝従来のニコン工業用顕微鏡では 45mm）したことで、対物レンズの前端から試料までの作動距離（ワーキング・ディスタンス）も広がり、誤って試料を傷つける心配等も減ってより快適な観察が可能。
  • ※3「SEMI 規格 S8-95」：SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が定めた、半導体製造装置の人間工学 / ヒューマン ファクターに基づくエンジニアリングに対するガイドライン。

主な仕様

ECLIPSE L200
(反射照明タイプ) 		ECLIPSE L200D
(反射 / 透過照明タイプ)
鏡基 本体部 焦準機構 ストローク 29 mm、
粗動 12.7mm / 1 回転（トルク調節・再焦準機構付）、
微動 0.1mm / 1 回転（1μm / 1 目）
電源 12V100W 調光用電源、各電動部制御用電源内蔵
各電動部操作スイッチ付（レボルバ回転、ランプ調光、開口絞り開閉、反射 / 透過切換※）
  • ※反射 / 透過切換は、L200D のみ
照明 反射照明部 12V100Wハロゲンランプ照明装置（本体部内蔵）、
開口絞り（電動・芯出し可能）、
視野絞り（固定・フォーカスターゲット付）、
ピンホールスライダ（オプション）挿入可能
φ25mmフィルタ（NCB、ND2、ND4）を 4 枚まで挿入可能、
ポラライザ / アナライザ挿入可能
透過照明部 - 12V100Wハロゲンランプ
照明装置（本体部内蔵）
開口絞り内蔵、
LWDコンデンサ内蔵
鏡筒 超広視野正立チルト（傾角）三眼鏡筒（俯角 0 ～30度）
視野数φ25、
光量比（双眼 100：0 直筒 / 双眼 0：100 直筒）
接眼レンズ CFI 接眼レンズシリーズ
レボルバ 6 ヶ孔電動ユニバーサルレボルバ、
微分干渉（DIC）装置挿入スロット付
対物レンズ CFI60 LU PLAN シリーズ、
CFI60 LU PLAN APO シリーズ
ステージ 8×8 ステージ
ストローク：205×205 mm（透過観察範囲：150×150 mm）、
粗微動切換機構付、
微動ハンドル位置固定
寸法(W×D×H)(約) 360×855×610 mm（鏡筒俯角10度にて）
関連リンク
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