高スループットで、高精細LCDの生産性向上に貢献： 「ニコン液晶ディスプレイ用露光装置 FX-701M」を7月1日より販売

1998年3月

株式会社ニコン（社長：吉田 庄一郎）は、ニコン「液晶ディスプレイ用露光装置 FX-701M」を開発し、平成10(1998)年7月1日より販売を開始いたします。

「FX-701M」は、液晶ディスプレイ（LCD）の回路パターンを、ステッパー（ステップ・アンド・リピート）方式で露光・転写する装置です。約 30％のスループット向上（弊社比）を達成し、LCD の更なる効率的な量産を実現、その生産性の向上に貢献いたします。

開発の背景

ノートブックタイプパソコン用ディスプレイとして市場を確立してきた TFT（Thin Film Transistor）方式アクティブマトリクスカラー LCD は、8～10(インチ)型クラスの VGA 級（640×480 画素）のパネルから年々進化し、現在では12(インチ)型クラスの SVGA 級（800×600 画素）および XGA 級（1,024×768 画素）パネルが主流となっており、さらに今後は、13～14(インチ)型パネルの需要増が見込まれています。また、15(インチ)型以上の大型パネルは、デスクトップ型のカラーモニタとしての利用が期待されており、より大きな市場が形成されていくと予測されています。

今回販売を開始する「ニコン液晶ディスプレイ用露光装置 FX-701M」は、今後需要の増加が予想される13～14(インチ)型パネルを 4 分割露光することによって、弊社従来機に比べて約 30 ％のスループット向上（13.3(インチ)型パネル露光時）を実現いたしました。また、17(インチ)型パネルも 6分割で露光が可能なため、デスクトップ型のモニタ用パネルの製造においても量産効果を発揮し、TFT 方式 LCDの更なる生産性向上に貢献いたします。

主な特長

  • スループットを飛躍的に向上

    新開発の投影レンズは1回の露光で、□132×132 mm（従来レンズ：□120×120mm）の広い範囲の露光が可能。14.1 型パネルでも 4 回の露光で全回路パターンの転写をおこなえます。これにより弊社従来機との比較において、13.3型パネルを 1 プレート 6 面取りした場合で、約 30％ のスループット向上を実現。同パネルの焼き付けを毎時 350 枚可能にしました。

  • 広い露光範囲と高解像度の両立を実現

    露光範囲を□132×132 mm へと拡大しながらも、2.4 マイクロメートル以下（孤立パターン露光時）の高解像度を維持。LCD の更なる高精細化にも充分対応可能。

  • 大型プレート対応

    600×720 mm 2 クラスの大型プレートサイズに対応。これにより、14.1型パネルの 1プレート 6 面取り、さらには17型パネルの 1プレート 4 面取りが可能。また、36型クラスの超大型ディスプレイの生産も可能。

  • 6 枚レチクルチェンジャーの搭載が可能（オプション）

    6 枚レチクルチェジャー（オプション）を搭載すれば、17型パネルであっても 6 回の露光で効率良く焼き付けることが可能。今後の市場の拡大が予測されるデスクトップ型カラーモニタ用 TFT-LCD の露光に威力を発揮。

主な仕様

解像度 2.4 μm 以下（孤立パターン）、
3 μm以下（ L / S ）
露光範囲 □132×132～105.87×153.75 mm（φ186.68 mm 以内）
投影倍率 1.25 倍（拡大）
アライメント精度 0.5 μm 以下
最大プレートサイズ 600×720 mm2 クラス
使用レチクル 6(インチ)型（□150 mm）
オプション ペリクル異物検査装置、
レチクル増設ライブラリ、
レチクルバーコードリーダ、
プレート周辺露光装置
寸法（W×H×D）・質量（約） 本体部　　：3,115×3,500×2,978 mm；10,700 kg
ローダ部　：1,315×2,880×2,800 mm；1,500 kg
制御ラック：630×2,100×2,100 mm；1,000 kg
関連リンク
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