第3・第4世代の64MDRAMなどの次世代デバイスの量産・開発に対応する一括露光方式ステッパー : 「ニコン縮小投影型露光装置 NSR-2205EX14C」、「ニコン縮小投影型露光装置 NSR-2205i14E」を本年末から受注開始
1997年12月3日
株式会社ニコンは、第3・第4世代の64MDRAM（平成10(1998)年春より量産開始）をはじめとする次世代デバイスの量産・開発に対応する一括露光方式の KrF エキシマステッパー「ニコン縮小投影型露光装置 NSR-2205EX14C」、同じく一括露光方式の i（=I）線ステッパー「ニコン縮小投影型露光装置 NSR-2205i14E」を開発、平成9(1997)年末より受注を開始いたします。
「NSR-2205EX14C」は、露光光源を KrF（フッ化クリプトン）エキシマレーザ（波長248ナノメータ）とし、0.25μｍ以下の高解像度を実現するとともに、前機種「NSR-2205EX12B」と比較して、高いスループット、高いアライメント精度（当社比）を達成しています。
また「NSR-2205i14E」は、露光光源を i（=I）線（波長365ナノメータ）とし、KrF露光機の「NSR-2205EX14C」との "ミックス & マッチ" にも適しています。
開発の背景
ニコンでは、先に、広い露光範囲（25×33mm）を確保できるレンズスキャニング方式による KrF エキシマステッパー「NSR-S202A」および i(=I)線ステッパー「NSR-S102B」の受注開始について発表しております。
今回発表する「NSR-2205EX14C」と「NSR-2205i14E」は、従来から高い実績のある一括露光方式ステッパーに、レンズスキャニング方式ステッパー「NSR-S202A / S102B」で導入した新開発のステージ技術、アライメント技術などを搭載することで、高精度はもとより、生産コスト低減のための高い処理能力（スループット）を備えた露光装置として開発したものです。
「NSR-2205EX14C」の主な特長
- スループットを約35％向上
新開発のエアガイド・リニアモータステージの導入により、ウェハステージの一層の高速化を図りました。
また、露光光源への新型 KrF エキシマレーザの採用で、露光時間の短縮を、アライメントシーケンスの見直しにより、アライメント時間の短縮を、それぞれ達成し、8インチ（200mm）ウェハ換算で毎時85枚以上という、高いスループットを実現。
- 64MDRAM量産に対応
新型の縮小投影レンズ（N.A.0.60）の搭載により、露光範囲□22mm（6インチ型レチクル使用時）において、0.25μｍ以下の解像度を実現。
64MDRAMはもとより、256MDRAMの試作・量産にも対応可能。
- アライメント精度を20％向上（当社比）
新開発のウェハテーブルの採用、アライメント光学系の改良などにより、アライメント精度を約20 % 向上。
「NSR-2205i14E」の主な特長
- 新開発の64MDRAM量産に対応
i（=I）線を露光光源に、新型の縮小投影レンズ（N.A.0.63）を搭載し、□22mmの露光範囲（6インチ型レチクル使用時）で、解像度0.35μｍ以下を実現。
KrF 機の「NSR-2205EX14C」との "ミックス & マッチ" で、64MDRAMの量産および256MDRAMの試作などに威力を発揮。
- 高スループット、高アライメント精度を実現
「NSR-2205EX14C」と同様に、新開発のエアガイド・リニアモータステージの導入、アライメント系の改良などを加えて、高スループット（8インチ（200mm）ウェハ換算で毎時87枚以上）、高アライメント精度を実現。
主な仕様
| NSR-2205EX14C | NSR-2205i14E | |
|---|---|---|
| 解像度 | 0.25μｍ以下 | 0.35μｍ以下 |
| 露光光源 | KrF エキシマレーザ（248nm） | i(=I)線（365nm） |
| 縮小倍率 | 1 / 5倍 | |
| 露光範囲 | □22～17.96×25.2mm | |
| 総合アライメント精度 （EGA, |~ｘ|+3σ） |
50nm以下 | |
| スループット （8インチ(200mm)ウェハ換算） |
85枚 / 時以上 | 87枚 / 時以上 |
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