| Q: | 半導体露光装置の販売台数について |
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| A: | 今年の販売台数予想を下方修正した理由は、i線露光装置では収益を重視し無理な価格競争を避ける方針であること、KrF露光装置はロジック系の設備投資削減の影響を考慮したためです。また来年の市場規模は台数ベースでは今年より若干減少するものの、液浸を含むArF露光装置へのシフトは続くと予測しています。その中で当社の販売台数は今期を上回り、液浸を含むArF露光装置の比率が今期と同様、半分以上になると考えています。 |
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| Q: | 液浸露光装置について |
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| A: | 今年2月に出荷開始した「NSR-S610C」は実用段階を迎え、43ナノNANDフラッシュメモリの生産装置として採用されました。懸案であったスループット向上には想定より時間がかかりましたが、原因究明が完了して改善に取り掛かっており今年中に2,000枚/日の達成を目指しています。今後、液浸露光装置による生産がNANDフラッシュメモリからDRAM、ロジックに広がっていくにしたがって、液浸起因のディフェクト（欠陥）に対する許容度が厳しくなるため、原理的にディフェクトが発生しない当社装置の優位性を活かせる環境になっていくと考えます。 |
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| Q: | ダブルパターニングについて |
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| A: | 研究開発プロセスで各社が使い始める時期を2008年中と想定しており、その時期にはダブルパターニング対応の露光装置を投入したいと考えています。ダブルパターニングの方法には幾つか候補がありますが、重ね合わせ精度を大幅に向上させることがポイントであり、この開発は方法を問わず必要となります。 |
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| Q: | 液晶露光装置市場について |
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| A: | 液晶パネル向けの投資は今年が踊り場だと認識しています。ここのところ台湾・韓国を中心に引き合いが戻りつつあり、来年は回復が期待できます。また、パネルの大型化は進んでいくと考えており、9世代・10世代の装置の開発を着実に進めていきます。 |
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