ニコンの強みは？

ここがすごい！精機カンパニー

デジタル家電製品、携帯電話、パソコン・・・いまや日常生活に欠かすことのできない電子・情報機器の中核をなす部品が、半導体（IC）と、液晶パネルや有機ELパネルといった薄型の表示装置です。
精機カンパニーは、半導体製造の工程における半導体露光装置分野と、液晶パネルや有機ELパネルの生産を支える液晶露光装置分野で、最先端の製品と世界の主要拠点を網羅するサービスネットワークによって、IT社会の発展に重要な役割を果たしています。

精機カンパニーの事業と製品

最先端をリードし続ける、ニコンの半導体露光技術

ICの進歩の歴史は、回路の微細化による高集積化の歩みです。これを可能にしたのが、半導体露光装置を中心とした微細加工技術の進歩です。
ニコンは、より広い露光エリアと高い解像度が得られるスキャン方式や、レンズとウェハの間に空気よりも屈折率の高い純水を満たすことでレンズの性能を高める液浸露光技術を開発。現在では、回路線幅45nm（ナノメートル。1nmは100万分の1mm）以下の形成を実現しています。45nmとは、たとえば髪の毛1本の幅（約80マイクロメートル程度）に約1,800本の線を描くという細さです。
さらに、1つの回路パターンを2回に分けて露光して密集度を高めるダブルパターニング技術によって、回路線幅32nm以下にも対応していきます。

半導体露光装置の仕組み

液晶パネルや有機ELパネル生産に対応する液晶露光装置

薄型テレビの普及などで大型化が進む液晶パネルの分野では、第10世代と呼ばれる約3メートル角の大型ガラスプレートに一回の走査露光で、50インチ台後半から60インチ台の大型液晶パネルを6～8枚製造できるニコン独自のマルチレンズ投影光学系を搭載した液晶露光装置「FX-101S」の拡販に力を注いでいます。
一方、スマートフォンやタブレット型端末の広がりで、需要が拡大している高精細な中小型液晶パネルや有機ELパネルの製造に対応する液晶露光装置でも、強みを発揮しています。

グローバルなサービスネットワーク

業界でのニコンのポジション

ニコンは半導体露光装置における最先端のソリューションをトータルに提供し、主要な半導体メーカーから厚い信頼をいただいています。
また、液晶露光装置においても2010年の世界台数市場規模でトップシェアを獲得しています。