精機事業

情報社会の進化とともに。

今や私たちの毎日に欠かせないスマートデバイスやパソコン、大型液晶テレビ。そうした電子機器の中核を成す部品が、半導体とフラットパネルディスプレイです。ニコンでは、それらを製造するための露光装置の開発、設計、生産、販売、サービスを一貫して行い、情報化社会の発展をグローバルに支えています。

半導体装置事業

回路パターンを縮小してウェハに露光する半導体露光装置を提供しています。半導体の製造工程の要を担う装置で、nm(ナノメートル:10億分の1m)単位の精度が求められ、「史上最も精密な機械」と言われています。絶えず極限の微細化が求められる半導体製造プロセスのニーズに応える製品を開発・提供しています。

ArF液浸スキャナー NSR-S631E

7ナノメートルプロセス量産用(マルチプルパターニング適応)に開発された、ストリームラインプラットフォーム採用のArF液浸スキャナーです。装置間重ね合わせ精度2.3ナノメートル以下でスループット毎時270枚以上(96 shots)という極めて高い精度と生産性を実現。最先端デバイス生産ラインの安定量産に貢献します。

FPD装置事業

液晶パネルや有機ELパネルの基板となるガラスプレート表面に、回路パターンを露光するFPD露光装置を提供しています。ニコン独自の技術であるマルチレンズシステムを採用した大型パネル向け露光装置から、スマートデバイス向け中小型パネル向け露光装置までを提供し、2016年3月期の世界市場(台数)でトップシェアを誇っています。

FPDスキャナー FX-68S

第6世代プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応したFPD露光装置です。スキャナー方式により、生産性向上と高解像度(1.5μm)・髙い重ね合わせ精度を同時に実現しました。

FPDスキャナー FX-101S

マルチレンズシステムを採用し、第10世代とよばれる約3メートル角の大型ガラスプレートに対応したFPD露光装置です。1枚のガラスプレートから、60インチ以上の大型パネル6〜8枚を取ることが可能で、量産に貢献します。