精機事業

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これからの超スマート社会実現のために

IoTやAIのさらなる高度化のカギを握る半導体や高精細パネル。
ニコンは、それらの回路を光で焼き付ける製造装置の開発・製造を通じて、超スマート社会の実現を支えています。

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造プロセスとFPD露光装置

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FPD露光装置

FPDの基板となるガラスプレート表面に各画素を制御するための回路パターンを露光します。ニコン独自の技術であるマルチレンズ・システムを採用した大型パネル向け露光装置から、スマートデバイスなどの中小型パネル向け露光装置までを提供。マルチレンズ・システムに象徴される、たゆみない技術開発でFPD露光装置の高いシェアを獲得しています。

半導体の製造プロセスと半導体露光装置

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半導体露光装置

半導体の基板であるウェハに、回路パターンを縮小して露光します。
半導体露光装置は半導体の製造工程の要を担う装置で、nm(ナノメートル:10億分の1m)単位の精度が求められ、「史上最も精密な機械」と言われています。

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製品紹介

FPDスキャナー FX-103SH

独自の解像度向上技術による照明系とマルチレンズシステムを、第10.5世代向けに最適化した露光装置です。高精細大型パネルの生産に最適で、4K・8Kテレビや高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に貢献します。

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FPDスキャナー FX-6AS

スマートデバイスに代表される、最先端の高機能モバイル機器に用いられる高精細有機ELパネルや液晶パネル製造に最適な露光装置です。
新開発の投影レンズを搭載し、高解像度、高精度アライメント、高スループットを実現。
また、光源波長には従来モデルと同じi線を採用しているため、現行の製造プロセスを踏襲したまま、高精細パネルの量産が可能です。

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ArF液浸スキャナー NSR-S635E

5ナノメートルプロセス量産用に開発されたストリームラインプラットフォーム採用のArF液浸スキャナーです。高機能アライメントステーションを搭載することで、装置間重ね合わせ精度2.1 ナノメートル以下、スループット毎時275枚以上(96 shots)という極めて高い精度と生産性を実現。最先端デバイス生産ラインの安定量産に貢献します。

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縮小投影倍率5倍 i線ステッパー NSR-2205iL1

パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど様々なデバイスに対応し、ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高い縮小投影倍率5倍 i線ステッパーです。
コストパフォーマンスに優れ、ウェハ素材を選ばず、様々な半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。

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アライメントステーション Litho Booster

半導体露光装置の分野で培ったニコン独自の技術を活用した高機能アライメントステーションです。露光前の全ウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪みの絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高めます。

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